A.Loukkal 1*、M.Lematre 1、M.Bavencoffe 1、M.Lethiecq 1 1 GREMAN UMR 7347,图尔大学,INSA Centre Val de Loire,3 rue de la Chocolaterie,布卢瓦,法国 abderrahmane.loukkal@univ-tours.fr 摘要 微电子行业对于开发用于多层结构健康控制和诊断的无损工具和方法的需求日益增加。这些工具的目的是检测诸如分层、夹杂和微裂纹等问题。本文的目的是研究不完美界面对多层结构中波传播的影响。这种结构类型代表了许多微电子元件的典型架构。这项研究将基于反射系数和导波色散曲线的计算。所研究的结构是各向同性的三层,其中两个金属层通过环氧树脂制成的粘合层粘合在一起。进行了比较,以便从数字上评估粘合层的几种特性对导波行为的影响。此外,还实施了不完美粘弹性界面层模型 [1],以模拟金属层之间的不同粘附质量。关键词:反射系数;多层;不完美界面;导波;色散曲线;V(z,f) 方法;建模。
项目 1 的反射系数(10 dB 衰减器)项目 1 的传输系数(10 dB 衰减器)项目 2 的反射系数(40 dB 衰减器)项目 2 的传输系数(40 dB 衰减器)项目 3 的反射系数(50 ohm 架空线)项目 3 的传输系数(50 ohm 架空线)项目 4 的反射系数(50 ohm 架空线反向)项目 4 的传输系数(50 ohm 架空线反向)项目 5 的反射系数(25 ohm 架空线)项目 5 的传输系数(25 ohm 架空线)项目 6 的反射系数(25 ohm 架空线反向)项目 6 的传输系数(25 ohm 架空线反向)项目 7 的反射系数(短路)项目 8 的反射系数(端接)与传输不确定度的比较第 1 项在 2 GHz 时的系数。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 2 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 7 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 8 项反射系数在 2 GHz 时的不确定度进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。l
项目 1 的反射系数(10 dB 衰减器)项目 1 的传输系数(10 dB 衰减器)项目 2 的反射系数(40 dB 衰减器)项目 2 的传输系数(40 dB 衰减器)项目 3 的反射系数(50 ohm 架空线)项目 3 的传输系数(50 ohm 架空线)项目 4 的反射系数(50 ohm 架空线反向)项目 4 的传输系数(50 ohm 架空线反向)项目 5 的反射系数(25 ohm 架空线)项目 5 的传输系数(25 ohm 架空线)项目 6 的反射系数(25 ohm 架空线反向)项目 6 的传输系数(25 ohm 架空线反向)项目 7 的反射系数(短路)项目 8 的反射系数(端接)与传输不确定度的比较第 1 项在 2 GHz 时的系数。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 2 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 7 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 8 项反射系数在 2 GHz 时的不确定度进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。l
项目 1 的反射系数(10 dB 衰减器)项目 1 的传输系数(10 dB 衰减器)项目 2 的反射系数(40 dB 衰减器)项目 2 的传输系数(40 dB 衰减器)项目 3 的反射系数(50 ohm 架空线)项目 3 的传输系数(50 ohm 架空线)项目 4 的反射系数(50 ohm 架空线反向)项目 4 的传输系数(50 ohm 架空线反向)项目 5 的反射系数(25 ohm 架空线)项目 5 的传输系数(25 ohm 架空线)项目 6 的反射系数(25 ohm 架空线反向)项目 6 的传输系数(25 ohm 架空线反向)项目 7 的反射系数(短路)项目 8 的反射系数(端接)与传输不确定度的比较第 1 项在 2 GHz 时的系数。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 2 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 7 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 8 项反射系数在 2 GHz 时的不确定度进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。l
项目 1 的反射系数(10 dB 衰减器)项目 1 的传输系数(10 dB 衰减器)项目 2 的反射系数(40 dB 衰减器)项目 2 的传输系数(40 dB 衰减器)项目 3 的反射系数(50 ohm 架空线)项目 3 的传输系数(50 ohm 架空线)项目 4 的反射系数(50 ohm 架空线反向)项目 4 的传输系数(50 ohm 架空线反向)项目 5 的反射系数(25 ohm 架空线)项目 5 的传输系数(25 ohm 架空线)项目 6 的反射系数(25 ohm 架空线反向)项目 6 的传输系数(25 ohm 架空线反向)项目 7 的反射系数(短路)项目 8 的反射系数(端接)与传输不确定度的比较第 1 项在 2 GHz 时的系数。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 2 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 3 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 5 项在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 7 项在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与第 8 项反射系数在 2 GHz 时的不确定度进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。l
项目 1 的反射系数(10 dB 衰减器)项目 1 的传输系数(10 dB 衰减器)项目 2 的反射系数(40 dB 衰减器)项目 2 的传输系数(40 dB 衰减器)项目 3 的反射系数(50 ohm 空中线路)项目 3 的传输系数(50 ohm 空中线路)项目 4 的反射系数(50 ohm 空中线路反向)项目 4 的传输系数(50 ohm 空中线路反向)项目 5 的反射系数(25 ohm 空中线路)项目 5 的传输系数(25 ohm 空中线路)项目 6 的反射系数(25 ohm 空中线路反向)项目 6 的传输系数(25 ohm 空中线路反向)项目 7 的反射系数(短路)项目 8 的反射系数(终端)与项目 1 在 2 GHz 时的传输系数的不确定性。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与项目 2 在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与项目 3 在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与项目 3 在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与项目 5 在 2 GHz 时的反射系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与项目 5 在 2 GHz 时的传输系数的不确定性进行比较。在 10 GHz 时重复。在 18 GHz 时重复。与 I 的反射系数的不确定性进行比较
在本报告中,我们考虑了矢量指示微波反射计的校准和测量中的不确定度。给定测量配置的电压反射系数被视为复杂的被测量。测量中的不确定度可以被视为复杂平面中每个测量点的不确定度椭圆,其半轴和方向取决于反射系数实部和虚部的误差及其相关性。首先,我们展示了如何通过解决由此产生的确定性问题,使用最少数量的标准(三个)来校准系统。然后,我们展示了如何通过解决考虑三个以上标准的过度确定系统来降低校准不确定性。该解决方案涉及使用对复值执行的广义距离回归来获得后续测量过程中使用的复值校准常数。
注意 - 这些值基于这样的假设:衰减/频率特性在 280 公里长的均匀部分末端不显示任何超过 ± 1 dNp(约 ± 1 dB)的波纹。在 60 kHz 时应用了宽松条件,因为在低频下可能难以获得相对于电缆阻抗足够小的中继器输入和输出阻抗的反射系数。
Terahertz成像为早期发现皮肤癌提供了巨大的潜力。这项研究引入了一种超物质单位细胞,该单元旨在在Terahertz(THZ)带中进行非侵入性接触性皮肤癌检测。传感器仅依赖于反射系数响应,从而在不需要复杂的信号处理的情况下对组织性质的细微变化提供了高度的敏感性。这种简单性可能会导致早期癌症检测的经济高效且直接实施。使用代表各种皮肤类型的3D模型进行模拟,包括正常皮肤,基底细胞癌(BCC)和黑色素瘤。使用双Debye模型确定样品的介电特性。模拟表明,超材料设计以1.15 THz的特定频率表现出双负材料特性。在皮肤接触和检测恶性肿瘤后,反射系数显示出向较低频率的转移。值得注意的是,黑色素瘤样品表现出最显着的转移,表明与BCC相比,癌症形式更严重。此外,观察到正常皮肤和恶性皮肤之间的共振频率的差异随样品的厚度增加。传感器在检测癌症厚度方面表现出很高的灵敏度,对于基底细胞癌(BCC)的灵敏度为9.25 GHz/µm,黑色素瘤的灵敏度为10.2 GHz/µm。这些发现强调了传感器在最早阶段检测皮肤癌的能力,无论其严重程度如何。此外,线性回归分析表明,BCC和黑色素瘤的共振频率与癌症厚度变化之间存在牢固的相关性,R2值分别为0.9948和0.9947。