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1 中国科学院微电子研究所微电子仪器与设备研发中心,北京市北土城西路 3 号,100029,中国;yuesong@ime.ac.cn(SY);zhangzhe1@ime.ac.cn(ZZ);zhangkunpeng@ime.ac.cn(KZ);guohuifang@ime.ac.cn(HG);wangran@ime.ac.cn(RW);doutonghui@ime.ac.cn(TD)2 中国科学院大学微电子学院,北京市玉泉路甲 19 号,100049,中国 3 北京信息科技大学光电测试技术与仪器教育部重点实验室,北京市小营东路 12 号,100192,中国;zdl_photonics@bistu.edu.cn(DZ); zhulianqing@sina.com (LZ) 4 东南大学电子科学与工程系,南京四牌楼 2 号 210018,中国 * 通信地址:h.yang@seu.edu.cn (HY); zz241@ime.ac.cn (ZZ) † 这些作者对本文的贡献相同。