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临界维度测量：从同步器小角度X射线散射到工业光学散射技术
临界维度（CD）控制在半导体行业至关重要，并且随着光刻限制不断推动以达到小于10 nm的技术节点而变得更具挑战性。为了确保过程的质量和控制，有必要探索新的计量技术。从这个意义上讲，临界小角度X射线散射（CDSAXS）已被确定为确定具有子纳米准确精度的线光栅的平均形状的潜在候选者。在本文中，我们将CDSAXS结果基于光学关键维度（OCD），临界尺寸扫描电子显微镜（CDSEM）和透射电子显微镜（TEM）测量，以前从制造线的工业计量工具和表征实验室中收集的先前从工业计量工具中收集的测量值。重点放在用于CDSAXS的模型以及如何改进的模型上。我们讨论了所有这些多尺度和多物理技术之间的差异，并质疑我们比较它们的能力。
小角度 X 射线散射 – 一篇评论 - IUCr 期刊
由于其优异的性能，先进陶瓷、金属和复合材料等硬质材料具有巨大的经济和社会价值，可应用于众多行业。了解它们的微观结构特征对于提高其性能、材料开发和释放其未来创新应用的潜力至关重要。然而，它们的微观结构显然是分层的，通常跨越几个长度尺度，从亚埃到微米，这对它们的表征提出了严峻的挑战，尤其是原位表征，这对于理解控制微观结构形成的动力学过程至关重要。本综述全面描述了快速发展的超小角度 X 射线散射 (USAXS) 技术，这是一种探测硬质材料纳米到微米级特征的无损方法。USAXS 及其补充技术在为硬质材料开发和应用时，可以提供有关其孔隙率、晶粒尺寸、相组成和不均匀性的宝贵见解。我们讨论了 USAXS 在硬质材料中的基本原理、仪器、优势、挑战和全球地位。通过选定的示例，我们展示了该技术在揭示硬质材料微观结构特征方面的潜力，以及它与先进材料开发和制造工艺优化的相关性。我们还提供了对 USAXS 持续发展的机遇和挑战的看法，包括多模态表征、相干散射、时间分辨研究、机器学习和自主实验。我们的目标是促进 USAXS 技术的进一步实施和探索，并激发它们在硬质材料科学的各个领域的更广泛应用，从而推动该领域的发现和进一步发展。
在多糖材料上的小角度中子散射
摘要：多糖材料和生物材料因其在化学结构和修饰的可能性中的多功能性及其生物相容性，可降解性和可持续性特征而获得了激烈研究的重点。本综述着重于SAN在多糖系统上应用的最新进展，这些系统涵盖了纳米构成组件，水凝胶，纳米复合材料以及植物启发纳米结构系统等广泛材料。它通过证明对比度变化和对比匹配方法的特征，并报告数据分析和解释的方法，从而激发了SAN的全部潜力使用。由于这些软物质系统可以根据其组件之间的相互作用和化学键进行多个长度尺度组织，因此SANS为高级表征和优化了新的纳米结构多糖材料提供了出色和独特的机会。
组合高能X射线衍射和小角度...
关键词：机制，X射线散射，疲劳，应变，脱位阐明钢的氢含量机制是因为可以一次激活多种机制或甚至可能需要协同的共同存在激活的事实，这使钢的氢含量机制变得复杂。一些领先的氢化氢提议机制包括氢增强的脱粘（HEDE），氢增强的局部可塑性（帮助）机制和纳米玻璃体合并机制（NVC）。在HEDE中，一旦氢浓度达到临界浓度，氢在高三轴应力位置的积累会导致Fe-FE键的衰弱。在帮助中，引入氢气会影响Fe格子中位错的行为，通常会增强钢框架中的脱位迁移率。在NVC中，预计氢会导致空缺的稳定和促进（“纳米级空隙”）团聚。对这些机制的完全理解，它们与疲劳特性的关系以及它们相互作用的相互作用需要一次测量，能够一次探测所有三种机制。在这里，我们同时提出高能X射线衍射（HEXRD）和小角度的X射线散射（SAXS）测量，在氢气中钢裂纹的原位疲劳期间。HexrD测量值探测HEDE并通过确定应变密度的确定； SAXS测量通过测定纳米孔尺寸分布的NVC。 ，我们将在空气和氢气中生长的裂纹尖端之前提出应变，脱位密度和孔径分布。HexrD测量值探测HEDE并通过确定应变密度的确定； SAXS测量通过测定纳米孔尺寸分布的NVC。，我们将在空气和氢气中生长的裂纹尖端之前提出应变，脱位密度和孔径分布。我们将在帮助，HEDE和NVC机制的背景下讨论空气中在空气中和氢中生长的裂纹尖端之间的差异。
微束小角和广角 X 射线散射在聚合物材料表征中的应用
摘要：随着X射线源、聚焦光学系统和X射线探测器的发展，微束X射线散射技术已经成熟并广泛应用于聚合物材料的表征。微束X射线散射是一种独特而强大的工具，它可以提供有关局部结构的丰富信息，例如材料的空间不均匀性和局部位置的结构变化。此外，通过结合微束小角X射线散射（SAXS）和广角X射线散射（WAXS），可观测的空间尺度范围从几个到几百个A˚，这是聚合物分级结构分析中最重要的尺度范围。本文介绍了微束X射线散射在聚合物结晶、空间不均匀性分析、外场下的应力传递和嵌段共聚物体系中的微相分离结构分析中的代表性应用。 [doi:10.1295/polymj.PJ2007077] 关键词 微束小角和广角X射线散射/聚合物表征/