光刻和图案化将继续发展,但面临许多挑战。预计 2024 年将推出 0.55 NA 的高 NA 工具,但需要在光源、工具、掩模、材料、计算光刻和随机控制方面进行改进,以使这些工具能够投入生产使用。预计工艺窗口会很小,迫使使用更薄的光刻胶,并且可能还需要改进工艺集成方案。高 NA 工具的较小场尺寸对于某些产品设计来说很困难。这可能会刺激许多相对较小的芯片的高性能封装的增长。人们也在考虑采用更大的掩模尺寸来实现更大的曝光场。需要改进光刻胶和相关材料,但即使有了改进,为了能够充分控制随机效应,印刷剂量仍将继续增加。从长远来看,可以开发更高 NA 的 EUV(“超 NA”),但这面临许多技术挑战,并且可能被证明不如 0.33 或 0.55 NA EUV 的多重图案化有效。化学增强型光刻胶将至少在 1 纳米逻辑节点之前继续作为主力光刻胶,但基于金属的新型光刻胶(湿法和干法沉积)显示出良好的前景。随着世界对环境问题的关注度不断提高,能源效率和化学安全性也成为关注的焦点。
制造微机电系统 (MEMS) 的两种主要方法是体微加工技术和表面微加工技术。在体微加工的情况下,可移动结构的制造是通过选择性蚀刻掉结构层下面的处理基板来完成的,而在表面微加工中,一系列薄膜沉积和对堆栈中特定层(称为牺牲层)的选择性蚀刻产生最终所需的悬浮微结构。这两种 MEMS 制造方法的关键步骤是控制释放区域,从而精确定义柔顺机械结构锚 [1],如图 1 a 和 b 所示,显示了锚的底蚀。湿法或干法蚀刻工艺都可以去除牺牲层,使用前一种方法会遇到粘滞,而后一种方法会引入污染或残留物 [2]。选择牺牲层时需要考虑的重要设计因素包括:(i) 沉积膜的均匀性和厚度控制、(ii) 沉积的难易程度、(iii) 蚀刻和沉积速率、(iv) 沉积温度以及 (v) 蚀刻选择性。光刻胶由于易于蚀刻(使用氧等离子体或有机溶剂)且不会损害大多数结构材料而被用作牺牲层 [3–6]。然而,该工艺仅限于低温
摘要:高纵横比硅微纳米结构在微电子、微机电系统、传感器、热电材料、电池阳极、太阳能电池、光子装置和 X 射线光学等多种应用领域中具有技术相关性。微加工通常通过反应离子干法蚀刻和基于 KOH 的湿法蚀刻来实现,金属辅助化学蚀刻(MacEtch)作为一种新型蚀刻技术正在兴起,它允许在纳米级特征尺寸中实现巨大的纵横比。到目前为止,文献中缺少对 MacEtch 的专门综述,既考虑了基本原理,也考虑了 X 射线光学应用。本综述旨在提供全面的总结,包括:(i)基本机制;(ii)在垂直于 <100> Si 基底的方向上进行均匀蚀刻的基础和作用;(iii)用 MacEtch 制造的几个 X 射线光学元件示例,例如线光栅、圆形光栅阵列、菲涅尔区板和其他 X 射线透镜; (iv) 吸收光栅完整制造的材料和方法以及在基于 X 射线光栅的干涉测量中的应用;以及 (v) X 射线光学制造的未来前景。本综述为研究人员和工程师提供了对 MacEtch 作为 X 射线光学制造新技术的原理和应用的广泛和最新的理解。
摘要 微海绵是一种多孔微球,尺寸从 5 到 300 微米不等,用于聚合物输送系统。它们已被用于生物医学应用,包括靶向药物输送、透皮药物输送、抗癌药物输送和骨替代品。本研究旨在详细研究基于微海绵的药物输送系统的现有趋势和未来前景。当前的研究调查了微海绵输送系统的设计、操作和可能的治疗用途 (MDS)。彻底调查了基于微海绵的配方的治疗潜力以及专利数据。作者讨论了几种生产微海绵的有效方法,包括液液悬浮聚合、准乳液溶剂扩散、水包油包水 (w/o/w) 乳液溶剂扩散、油包油乳液溶剂扩散、冻干法、致孔剂添加法、振动孔口气溶胶发生器法、电流体雾化法和超声辅助微海绵。微海绵可通过促进药物释放来减少不良副作用并提高药物稳定性。亲水性和疏水性药物可装入微海绵并运送到特定目标。与传统分配方法相比,微海绵输送技术具有许多优势。微海绵是一种具有多孔表面的球形海绵状纳米颗粒,可帮助提高药物稳定性。它们可有效改变药物释放,同时减少副作用。
对冶金和材料科学领域的高温耐铝,水透明和生物甲状腺素的比较分析是一项有价值的研究。这些冶金过程被用来从各种来源提取金属,了解它们的差异和优势对于有效的金属恢复和可持续资源管理至关重要。从矿石,浓缩物和废料中提取和回收金属是冶金工业的基本过程。在可用的各种方法中,高分测铝,水透明和生物 - 羟基铝作为独特且广泛使用的方法。高温铝过程也称为干法,水均能铝过程称为湿法方法,而生物 - 氢铝过程称为生物介绍过程。干燥,湿和生物涉及方法之间的比较分析旨在探索,评估和对比这些方法,在电子废物(电子废物)中提取金属的背景下,阐明了它们的原理,应用和环境影响。电子废物或电子废物在全球范围内越来越多。电子垃圾包含无数有价值的金属,包括但不限于黄金,白银,铜和钯,以及危险物质,使其适当的管理至关重要。提取方法的选择在确定金属恢复,经济生存能力和环境影响的效率方面起着关键作用。这种比较分析的主要目的是提供对高分测铝,水透明和生物 - 氢铝的全面理解,因为它们与从电子废物中提取金属有关。通过检查这三种方法的原理,过程,选择性,能源需求,环境影响以及经济考虑,旨在将决策者,研究人员和行业专业人员告知可持续电子垃圾回收的最佳实践。
摘要:作为热化学能存储领域研究的一部分,本研究旨在调查奥地利三家不同纸浆和造纸厂的流化床反应器产生的三种粉煤灰样品作为热化学能 (TCES) 和 CO 2 存储材料的潜力。 通过不同的物理和化学分析技术分析了选定的样品,例如 X 射线荧光光谱 (XRF)、X 射线衍射 (XRD)、粒度分布 (PSD)、扫描电子显微镜 (SEM)、电感耦合等离子体原子发射光谱 (ICP-OES) 和不同气氛 (N 2 、CO 2 和 H 2 O/CO 2 ) 下的同步热分析 (STA)。 为了评估环境影响,还进行了浸出试验。 通过 XRF 分析验证了 CaO 作为 TCES 的有希望的候选者的含量,其范围为 25–63% (w/w)。 XRD 结果表明,所有粉煤灰样品中的 CaO 均以游离石灰(3-32%)、方解石(21-29%)和硅酸盐的形式存在。STA 结果表明,所有粉煤灰样品均能满足 TCES 的要求(即充电和放电)。所有样品都进行了三次循环稳定性测试,结果表明在前三个反应循环中转化率有所降低。根据 STA 结果,所检查样品的能量含量高达 504 kJ/kg。在 CO 2 /H 2 O 气氛中,由于这些样品中已经存在游离石灰(CaO),因此在第一次放电步骤中,两种粉煤灰样品可以释放更多的能量(~1090 kJ/kg)。基于直接法和干法,这些粉煤灰样品的 CO 2 储存容量在每吨粉煤灰 18 至 110 kg 之间。浸出试验表明,所有重金属均低于奥地利垃圾填埋条例的限值。可以说,通过 TCES 和 CO 2 封存来增值纸浆和造纸工业的粉煤灰是可行的。然而,仍需进行进一步的研究,例如循环稳定性改进、系统集成和生命周期评估 (LCA)。
外延生长时,氧化膜必须生长在晶体衬底上。这些要求极大地限制了它们的适用性,使得我们无法制备多种人工多层结构来研究薄膜及其界面处出现的突发现象[2],也无法制造柔性器件并单片集成到硅中。[3–5] 人们致力于开发将功能氧化膜与生长衬底分离的程序,以便能够自由操作它。这些方法包括机械剥离[6]、干法蚀刻[7,8]和湿化学蚀刻[9,10]。在化学蚀刻程序中,使用牺牲层(位于衬底和功能氧化物之间)似乎是一种快速且相对低成本的工艺。为了使这种方法成功,牺牲层应将外延从衬底转移到所需的氧化物,经受功能氧化物的沉积过程,并通过化学处理选择性地去除,从而可以恢复原始的单晶衬底。 (La,Sr)MnO 3 已被证明可以通过酸性混合物进行选择性蚀刻,从而转移单个外延 Pb(Zr,Ti)O 3 层 [11] 和更复杂的结构,例如 SrRuO 3 /Pb(Zr,Ti)O 3 /SrRuO 3 。 [12] 最近,水溶性 Sr3Al2O6(SAO)牺牲层的使用扩大了独立外延钙钛矿氧化物层(SrTiO3、BiFeO3、BaTiO3)[13–15] 和多层(SrTiO3/(La,Sr)MnO3)[16] 的家族,这些层可进行操控,从而开辟了一个全新的机遇世界。[5,10,17] 制备此类结构的沉积技术也是需要考虑的关键因素,不仅影响薄膜质量,还影响工艺可扩展性。虽然分子束外延和脉冲激光沉积等高真空沉积技术是生产高质量薄膜的成熟技术[1,18–20],但溶液处理和原子层沉积等可实现低成本生产的替代工艺正引起人们的兴趣。[21,22]
图例:1) 这是用于制造此材料的 PE-UHMW 树脂(不考虑任何添加剂)的平均摩尔质量。它是通过 Margolies 方程式 M = 5.37 x 10 4 x 1.49 计算得出的,其中 为特性粘度(Staudinger 指数),根据 ISO 1628-3:2001 使用十氢萘作为溶剂(浓度为 0.0002 g/cm³)进行粘度测量得出。2) 根据 ISO 62 中的方法 1 并在 Ø 50 mm x 3 mm 的圆盘上进行。3) 这些属性的数据大部分来自原材料供应商数据和其他出版物。4) 耐高温时间至少为 20,000 小时。经过这段时间后,抗拉强度(在 23 °C 下测量)会比原始值下降约 50 %。因此,此处给出的温度值基于发生的热氧化降解,会导致性能下降。但请注意,最高允许使用温度在许多情况下主要取决于材料所受机械应力的持续时间和大小。5) 冲击强度随温度降低而降低,最低允许使用温度实际上主要取决于材料受到冲击的程度。此处给出的值基于不利的冲击条件,因此不能被视为绝对的实际极限。6) 这些估计等级来自原材料供应商数据和其他出版物,并非旨在反映材料在实际火灾条件下呈现的危险。这些库存形状没有“UL 文件编号”。 7) 给出的材料力学性能数据大部分为干法试验平均值,试验样品由厚度为 15-20 mm 的板材或直径为 40-50mm 的棒材加工而成,试验样品从坯料中取下,长度方向为纵向(平行于挤压方向)。8) 试验样品:1B 型9) 试验速度:5 或 50 mm/min [根据 ISO 10350-1 选择,取决于材料的延展性(韧或脆)10) 试验速度:1 mm/min。11) 试验样品:圆柱体 Ø 8 mm x 16 mm12) 试验样品:棒材 4 mm(厚度)x 10 mm x 80 mm;试验速度:2 mm/min;跨度:64 mm。13) 所用摆锤:4 J。14) 所用摆锤 25J。 15) 在 10 毫米厚的试件上测量。16) 测试程序类似于测试方法 A:“销盘式”测试,如 ISO 7148-2 所述,负载 3MPa,滑动速度 = 0.33 米/秒,配合钢板 Ra= 0.7-0.9 微米,在 23°C、50%RH 下测试。17) 电极配置: 25 毫米 / 75 毫米同轴圆柱体;根据 IEC 60296 浸入变压器油中;1 毫米厚的试件。