槽之间的间距为 0。槽具有独特的轮廓,可实现 C 波段信号的耦合,而不会降低 Ku 波段信号的质量。槽的对称配置和独特轮廓确保在这种不连续性处不会产生高阶模式,从而可能降低 Ku 波段信号的质量。然后,分支波导网络将来自每对槽的耦合信号传送到合适的功率组合组件(例如 Magic T),每个组件用于相应的极化。应用 VSAT 网络 ISRO 提供将组合 C/Ku 接收馈电系统的技术转让给具有足够经验和设施的印度工业。有兴趣获得专有技术的企业可以写信详细说明其目前的活动、基础设施和设施。Ku 波段 OMT Ku 波段 OMT 由一个一端封闭的中央圆形波导和四个对称排列的分支矩形波导组成。一对这样的共线矩形波导将相同极化的信号传送到功率组合网络。中心圆形波导由一个独特的匹配元件组成。匹配元件用于对传入信号进行良好匹配。选择对称配置是为了避免在公共连接处不产生高阶模式。功率组合网络可以通过 Magic T 或简单的 E 平面分叉波导功率组合器来实现。
神经电子与神经系统的接口是最先进的神经科学研究中必不可少的技术,旨在发现大脑的基本工作机制。朝着时空分辨率提高的进展与微电学技术和新型材料的进步紧密相关。这些技术向神经科学的翻译导致了多通道神经探针和采集系统,从而可以使用数千个通道记录大脑信号。本评论概述了最先进的神经电子技术,重点是录制站点体系结构,这使得可以实现可寻址阵列,以实现高通道计数的神经接口。在这一领域,积极的转导机制在新型材料方面变得越来越重要,因为它们促进了高密度可寻址阵列的实施。
已启动一项任务,以开发一种允许常规和参数波束形成的声纳系统传感器。可用的空间约束和所需的声功率密度要求从同一换能器阵列生成常规和参数信号。报告了大量研究,记录了为确定最佳参数主频率而进行的模拟和实验。开发了一种双模换能器来生成常规和参数信号。该换能器能够在两个相距近 2.5 个八度的独立频率上进行高功率传输,并且在两个频率上都具有宽带宽。低频换能器是传统的 Tonpliz,其头部质量由多个节点安装的高频换能器组成,这些换能器可生成参数信号。高频换能器的节点板允许低频换能器将声能传输到介质,而不会横穿高频换能器的声压释放。数据显示了这些换能器的一小部分阵列的性能。
摘要:超声波无线能量传输技术(UWPT)是植入式医疗设备(IMD)供电的关键技术。近年来,氮化铝(AlN)由于其生物相容性和与互补金属氧化物半导体(CMOS)技术的兼容性而备受关注。同时,钪掺杂氮化铝(Al 90.4%Sc 9.6%N)的集成是解决AlN材料在接收和传输能力方面的灵敏度限制的有效解决方案。本研究重点开发基于AlScN压电微机电换能器(PMUT)的微型化UWPT接收器装置。所提出的接收器具有2.8×2.8 mm 2的PMUT阵列,由13×13个方形元件组成。采用声学匹配凝胶,解决液体环境下声阻抗不匹配问题。在去离子水中的实验评估表明,电能传输效率(PTE)高达2.33%。后端信号处理电路包括倍压整流、储能、稳压转换部分,可有效将产生的交流信号转换为稳定的3.3V直流电压输出,成功点亮商用LED。这项研究扩展了无线充电应用的范围,为未来实现将所有系统组件集成到单个芯片中,进一步实现设备小型化铺平了道路。
[1] MILLER DL, SMITH NB, BAILEY MR 等。治疗性超声应用和安全注意事项概述[J]。超声医学杂志,2012,31 (4): 623-634。[2] WANG J, ZHENG Z, CHAN J 等。用于血管内超声成像的电容式微机械超声换能器[J]。微系统纳米工程,2020,6 (1): 73。[3] JIANG X, TANG HY, LU Y 等。基于与 CMOS 电路键合的 PMUT 阵列的发射波束成形超声指纹传感器[J]。IEEE 超声铁电频率控制学报,2017,PP (9): 1-1。[4] CHEN X, XU J, CHEN H 等。利用多频连续波的 pMUT 阵列实现高精度超声测距仪[J]。微机电系统,2019 年。[5] CABRERA-MUNOZ NE、ELIAHOO P、WODNICKI R 等人。微型 15 MHz 侧视相控阵换能器导管的制造和特性[J]。IEEE 超声铁电和频率控制学报,2019 年:1-1。[6] LU Y、HEIDARI A、SHELTON S 等人。用于血管内超声成像的高频压电微机械超声换能器阵列[S]。IEEE 微机电系统国际会议;2014 年。[7] ZAMORA I、LEDESMA E、URANGA A 等人。用于成像应用的具有 +17 dB SNR 的单片 PMUT-on-CMOS 超声系统[J]。 IEEE Access,2020,页(99):1-1。[8] JUNG J,LEE W,KANG W 等。压电微机械超声换能器及其应用综述[J]。微机械与微工程杂志,2017,27 (11):113001。[9] BERG S,RONNEKLEIV A。5F-5通过引入有损顶层降低CMUT阵列中膜之间的流体耦合串扰[S]。超声波研讨会;2012年。[10] LARSON J D。相控阵换能器中的非理想辐射器[S]。IEEE;1981年。[11] NISTORICA C、LATEV D、SANO T 等。宽带宽、高灵敏度的高频压电微机械换能器[S]。 2019 IEEE 国际超声波研讨会(IUS);2019: 1088-1091。[12] 何丽梅,徐文江,刘文江等。基于三维有限元仿真的二维阵列压电微机械超声换能器性能和串扰评估[S]。2019 IEEE 国际超声波研讨会(IUS);2019。[13] PIROUZ A、MAGRUDER R、HARVEY G 等。基于 FEA 和云 HPC 的大型 PMUT 阵列串扰研究[S]。2019 IEEE 国际超声波研讨会(IUS);2019。[14] DZIEWIERZ J、RAMADAS SN、GACHAGAN A 等。一种用于NDE应用的包含六边形元件和三角形切割压电复合材料子结构的2D超声波阵列设计[S]。超声波研讨会;2009年。[15]徐婷,赵玲,姜哲,等。低串扰、高阻抗的压电微机械超声换能器阵列设计
1 上海交通大学先进微纳米制造技术国家重点实验室,上海 200240,中国 2 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240,中国 3 上海交通大学医学院、上海交通大学口腔医学院、国家口腔医学中心、国家口腔疾病临床研究中心、上海市口腔医学重点实验室,上海 200011,中国 4 新加坡国立大学电气与计算机工程系,4 Engineering Drive 3,117576,新加坡 5 新加坡国立大学传感器与微机电系统中心,4 Engineering Drive 3,117576,新加坡
于 2023 年 4 月 2 日收到,来自澳大利亚布里斯班皇家布里斯班妇女医院麻醉和围手术期医学系(NP);澳大利亚昆士兰州布里斯班昆士兰大学医学院(NP、FW、PJS);澳大利亚墨尔本大学外科系(NP);澳大利亚布里斯班皇家布里斯班妇女医院急救和创伤中心(FW);澳大利亚布里斯班昆士兰大学临床研究中心(MJB、PNAH、AGS);澳大利亚布里斯班 QIMR Berghofer 医学研究所统计部门(SL);澳大利亚南港黄金海岸大学医院急诊科(PJS);澳大利亚南港格里夫斯大学医学和牙科学院(PJS);澳大利亚布里斯班格里夫斯大学护理与助产学院 (NM, CMR);澳大利亚布里斯班皇家布里斯班妇女医院护理与助产研究中心 (NM, CMR);澳大利亚布里斯班格里夫斯大学血管通路教学与研究组联盟 (NM, CMR);澳大利亚布里斯班昆士兰大学护理、助产与社会工作学院 (NM, CMR);澳大利亚布里斯班昆士兰病理学中心微生物学 (PNAH, AGS);澳大利亚布里斯班大都会北医院与健康服务中心赫斯顿传染病研究所 (CMR)。稿件接受出版日期为 2023 年 5 月 29 日。
现实世界的传感处理应用需要紧凑、低延迟和低功耗的计算系统。混合忆阻器-互补金属氧化物半导体神经形态架构凭借其内存事件驱动计算能力,为此类任务提供了理想的硬件基础。为了展示此类系统的全部潜力,我们提出并通过实验演示了一种用于现实世界对象定位应用的端到端传感处理解决方案。从仓鸮的神经解剖学中汲取灵感,我们开发了一种生物启发的事件驱动对象定位系统,将最先进的压电微机械超声换能器传感器与基于神经形态电阻式存储器的计算图结合在一起。我们展示了由基于电阻式存储器的巧合检测器、延迟线电路和全定制超声传感器组成的制造系统的测量结果。我们使用这些实验结果来校准我们的系统级模拟。然后使用这些模拟来估计对象定位模型的角度分辨率和能量效率。结果揭示了我们的方法的潜力,经评估,其能量效率比执行相同任务的微控制器高出几个数量级。
Wirebondinghasbeenthemostwidelyusedandflexibleform of interconnecting technology in semiconductor manufacturing [1] .Themechanicalreliabilityofwirebondsinamicroelectronic package depends to a big extent on the formation of intermetallic compounds at the interface, environmental stress cycling of the module, fatigue and bonding process itself.债券过程控制和债券质量监控一直是制造OEM的主要关注点。电线键合是一个复杂的过程,具有许多参数(例如功率输入,粘结压力,粘结时间,阶段温度,传感器配置)。对于这样的制造过程,确定主要因素及其影响对于过程优化很重要。常规传感器组件包括以一端耦合的PZT(铅 - 循环酸 - 二烷基)驱动元件,以及键合工具耦合到传感器的输出端。为了维修/更换需求,该工具在组件上螺钉固定。这是具有“蟹腿”键合工具的三维结构。螺钉固定条件(工具上的扭矩值)可能会影响包装实践中的传感器性能,但是很少有有关此
摘要 人们对利用超声 (US) 换能器进行非侵入性神经调节治疗,包括低强度经颅聚焦超声刺激 (tFUS) 的兴趣迅速增长。用于 tFUS 的最广泛展示的超声换能器是体压电换能器或电容式微机械换能器 (CMUT),它们需要高压激励才能工作。为了推动超声换能器向小型便携式设备的发展,以便大规模安全地进行 tFUS,人们对具有光束聚焦和控制能力的低压超声换能器阵列很感兴趣。这项工作介绍了使用 1.5 µ m 厚的 Pb(Zr 0.52 Ti 0.48)O3 薄膜(掺杂 2 mol% Nb)的 32 元件相控阵压电微机械超声换能器 (PMUT) 的设计方法、制造和特性。电极/压电/电极堆栈沉积在绝缘体上硅 (SOI) 晶片上,硅器件层厚度为 2 µ m,用作弯曲模式振动的被动弹性层。制造的 32 元件 PMUT 的中心频率为 1.4 MHz。演示了超声波束聚焦和控制(通过波束成形),其中阵列由 14.6 V 方波单极脉冲驱动。PMUT 在焦距为 20 mm 时产生的最大峰峰值聚焦声压输出为 0.44 MPa,轴向和横向分辨率分别为 9.2 mm 和 1 mm。最大压力相当于 1.29 W/cm 2 的空间峰值脉冲平均强度,适用于 tFUS 应用。