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用于半导体、制药、化学品或饮料生产的超纯水对氧化剂或还原剂等污染物的存在有严格的限制。进水源水通常经过氯化处理,并使用颗粒活性炭 (GAC) 或亚硫酸氢钠 (SBS) 等化学品进行脱氯。脱氯水经过额外处理,通常涉及 RO 过滤,此时操作员应保持低浓度的消毒剂,同时不允许过量的氧化剂损坏膜。研究表明,RO 过滤器长时间暴露于浓度超过 38 ppb 的氯(基于 3 年内 1000 ppm-hr)会对膜结构和完整性造成损害,而缺乏消毒剂会促进生物生长并导致恢复损失。为了保持这种微妙的平衡,操作员必须能够准确监测氯浓度和脱氯化学品的添加。