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World File Search System湿法
钱奥立弗教授
Chyan 教授的研究项目享有国际声誉，成功探索了关键的基础界面科学，极大地促进了微电子制造和功能纳米结构设计的发展。Chyan 教授在麻省理工学院获得材料化学博士学位。自 1992 年以来，Chyan 建立了界面电化学和材料研究实验室，在那里他领导一个跨学科研究团队，研究大量与半导体处理和先进微电子制造相关的基础和应用研究项目。对于前端处理，对各种湿法清洗溶液中的金属和有机污染进行了检测和监控，以实现超净硅表面。探索 2D TMD 材料上的新型湿法清洗化学，以促进高产量纳米电子制造。关于后端处理，Chyan 博士发明了一种超薄、可直接镀覆的钌基铜扩散阻挡层/衬里，用于高级互连应用。重要的界面现象包括铜 ECD 回填、铜扩散、铜 CMP 后清洗和铜/钌双金属腐蚀，都在积极研究之中。开发了新颖的光谱计量法来表征图案化超低 k 纳米结构上的痕量蚀刻后残留物。对 ULK ILD 界面的化学、结构和键合改性的新见解促进了等离子蚀刻和蚀刻后清洁技术的开发，从而最大限度地减少了低 k 电介质损伤。当前的 BEOL/MEOL 研究工作集中在优化界面化学控制以促进使用 Ru 和 Mo 制造纳米互连。在 IC 封装领域，Chyan 博士的团队开发了一种新颖的 Cu 选择性钝化涂层，可消除热应力下 Cu 引线键合封装中氯化物引起的腐蚀缺陷。正在积极探索将这种 Cu 选择性涂层技术应用于先进的 2D/3D IC 封装。用于先进 IC 封装的高密度 Cu 互连的新型制造技术也在积极探索中。 Chyan 博士的研究项目得到了半导体研究公司 (Semiconductor Research Corporation) 和工业合作伙伴的支持，其中包括英特尔、德州仪器 (TI)、TEL、NXP/Freescale、Lam Research、联发科、L-3 Communications、ATMI、JSR-micro 和 REC Inc. 工业合作研究活动亮点：• 在材料化学和界面特性方面拥有 30 多年的研究经验
透明硬质材料的混合激光精密工程：挑战、解决方案和应用
摘要 激光已被证明是一种成熟且用途广泛的工具，与其他现有的微加工技术相比，它为各种材料的精密工程提供了极大的灵活性和适用性。过去几十年来，激光得到了迅速发展，并被广泛应用于从科学研究到工业制造的各个领域。透明硬质材料由于硬度高、脆性大、光吸收率低，一直是传统激光加工技术的几大技术挑战。为克服这些障碍，人们开发了各种混合激光加工技术，例如激光诱导等离子辅助烧蚀、激光诱导背面湿法蚀刻和蚀刻辅助激光微加工。本文回顾了这些混合技术的基本原理和特点，介绍了这些技术如何用于精密加工透明硬质材料及其最新进展。这些混合技术在透明硬质基底表面或内部制备微结构和功能器件方面表现出了显著的效率、精度和质量优势，使其在微电子、生物医学、光子学和微流控等领域具有广泛的应用前景。本文还对混合激光技术进行了总结和展望。
在机械、过程与能源工程学院、机械过程工程与矿物加工研究所，有一个职位空缺
研究助理（男/女/其他）——招聘广告编号 14-E/2025，作为第三方资助项目的一部分临时招聘。 薪酬：薪酬组 13 TV-L 职位范围：1.0 FTE（40 小时/周；可以兼职） 时间限制：2027 年 3 月 30 日（正在寻求延长至 36 或 48 个月） 在机械运行技术和设备技术研究所，机械电池回收工作正在多个项目中开展。 这涉及生产电极涂层浓缩物，即所谓的黑块，然后对其进行化学浸出，即在后续步骤中进行湿法冶金处理。 在此背景下，黑块的过滤性能是后续工艺链设计的关键因素。作为研究项目的一部分，现在需要量化来自不同机械预处理工艺的各种黑色物质的过滤特性，并优化过滤和清洗工艺的产量。以这种方式确定的结构-工艺关系对电池回收工艺链的数字化做出了重要贡献。该研究课题使来自科学和工业领域的各种合作伙伴能够进行广泛的合作。
分析仪器 Smart Analyzer 90 - ABB
SMA 型分析仪使用热气采样系统，通过将所有金属部件保持在露点以上的温度，以湿法测量烟气样品。这可防止酸性蒸汽在采样表面凝结。一旦进入传感器组件，进入的气体样品将被分成两个单独的加热通道。一个通道将样品转移到高度可靠的氧化锆传感器，在那里分析工艺气体的净氧含量。这款获得专利的 O 2 传感器包含一个内置加热器来调节其自身温度。另一个通道将样品转移到催化可燃物 CO e 传感器，在那里分析工艺气体的可燃物含量。当样品通过预热的混合室时，以固定速率添加稀释空气，以确保可重复且可靠的可燃物测量。稀释后的样品随后流入由两根 RTD 棒组成的 CO e 传感器。一根棒作为参考，另一根棒涂有催化剂，可氧化或燃烧棒表面的可燃物。催化 RTD 的温升（相对于参考 RTD）是 CO e 浓度的函数。
欧洲新的锂生产
迄今为止，尚无证据表明锂辉石有商业化生产前景。锂化学品分两个阶段从硬岩源中生产出来：i. 通过浮选和/或重介质分离将锂辉石选出 5 – 6% 的 Li 2 O 精矿或将透锂长石选出 3 – 4%。锂云母通过浮选进行选矿，锂辉石通过磁选进行选矿。ii. 在接下来的湿法冶金步骤中，精矿在 ~ 1000 – 1100 摄氏度下煅烧以产生更具反应性的晶体形式，然后在高温下用浓硫酸浸出，得到硫酸锂。通过添加苏打灰（可去除镁杂质）可将其转化为碳酸盐，然后通过添加石灰将其转化为氢氧化物（通常是首选方案）。锂云母和锌云母含有氟，在煅烧过程中会被释放，因此需要使用洗涤器来收集氟，防止其逸出到大气中。Lepidico 是一家在纳米比亚拥有锂矿开采前景的澳大利亚公司，该公司开发了一种提炼锂云母的程序，其中包括泡沫浮选和磁选，但不需要煅烧阶段。
两党基础设施法：电动汽车电池回收和二次利用应用选择
该项目将支持展示先进回收技术的可扩展性、可靠性和成本效益。Cirba 计划改造其位于兰开斯特工厂的现有商业湿法冶金生产线，将 EOL LIB 中的黑色物质转化为中间混合金属硫酸盐溶液，然后再转化为纯化的混合金属氢氧化物。这种转化利用了一种新的专利工艺来回收纯化的混合镍、钴和锰氢氧化物。Cirba 与 Momentum Technologies 合作，后者是橡树岭国家实验室 (ORNL) 科学家开发的可扩展、节能、低成本和闭环膜溶剂萃取 (MSX) 工艺的授权方，用于将中间混合金属硫酸盐溶液分离成纯净的电池级硝酸盐。Cirba 还与 6K Inc. 合作，后者是将工程材料转化为推动增材制造行业发展的产品的领导者，用于生产 LIB 的原始阴极活性材料 (CAM)。最后，Cirba 将与 ORNL 等 DOE 国家实验室合作，使用这些 CAM 制造和验证与原始材料制成的 LIB 一样高效的功能性 LIB。
铀矿勘探和矿石分析技术...
本手册是国际原子能机构一项计划的一部分，该计划旨在出版有关广泛实用主题的指导手册。其目的是协助建立一个分析实验室，该实验室能够执行铀勘探和采矿以及矿石加工活动（包括湿法冶金工艺的开发）中常用的所有基本化学和仪器分析。它适用于具有分析化学一般背景但在铀和相关元素分析化学方面经验有限的化学家。本手册分为两部分。第一部分涉及实验室设计和操作的一般方面，第二部分包含国际铀业普遍接受的 17 种选定分析方法的描述。其他可能使用更复杂、更现代或更有效的技术产生类似结果的方法未包括在内，但在一般参考资料中有所提及。同样未包括在内的是那些广泛用于化学工业且可在现成的分析化学手册中找到的分析方法。本手册部分基于全球分析界开发的技术，特别是美国能源部大章克申实验室（科罗拉多州大章克申）和加拿大矿产和能源技术中心开发的技术。
IRDS 2023 光刻
光刻和图案化将继续发展，但面临许多挑战。预计 2024 年将推出 0.55 NA 的高 NA 工具，但需要在光源、工具、掩模、材料、计算光刻和随机控制方面进行改进，以使这些工具能够投入生产使用。预计工艺窗口会很小，迫使使用更薄的光刻胶，并且可能还需要改进工艺集成方案。高 NA 工具的较小场尺寸对于某些产品设计来说很困难。这可能会刺激许多相对较小的芯片的高性能封装的增长。人们也在考虑采用更大的掩模尺寸来实现更大的曝光场。需要改进光刻胶和相关材料，但即使有了改进，为了能够充分控制随机效应，印刷剂量仍将继续增加。从长远来看，可以开发更高 NA 的 EUV（“超 NA”），但这面临许多技术挑战，并且可能被证明不如 0.33 或 0.55 NA EUV 的多重图案化有效。化学增强型光刻胶将至少在 1 纳米逻辑节点之前继续作为主力光刻胶，但基于金属的新型光刻胶（湿法和干法沉积）显示出良好的前景。随着世界对环境问题的关注度不断提高，能源效率和化学安全性也成为关注的焦点。
二氧化硅的各向异性气相 HF 蚀刻以释放 Si 微结构
制造微机电系统 (MEMS) 的两种主要方法是体微加工技术和表面微加工技术。在体微加工的情况下，可移动结构的制造是通过选择性蚀刻掉结构层下面的处理基板来完成的，而在表面微加工中，一系列薄膜沉积和对堆栈中特定层（称为牺牲层）的选择性蚀刻产生最终所需的悬浮微结构。这两种 MEMS 制造方法的关键步骤是控制释放区域，从而精确定义柔顺机械结构锚 [1]，如图 1 a 和 b 所示，显示了锚的底蚀。湿法或干法蚀刻工艺都可以去除牺牲层，使用前一种方法会遇到粘滞，而后一种方法会引入污染或残留物 [2]。选择牺牲层时需要考虑的重要设计因素包括：(i) 沉积膜的均匀性和厚度控制、(ii) 沉积的难易程度、(iii) 蚀刻和沉积速率、(iv) 沉积温度以及 (v) 蚀刻选择性。光刻胶由于易于蚀刻（使用氧等离子体或有机溶剂）且不会损害大多数结构材料而被用作牺牲层 [3–6]。然而，该工艺仅限于低温
铀矿勘探和矿石分析技术...
本手册是国际原子能机构一项计划的一部分，该计划旨在出版有关广泛实用主题的指导手册。其目的是协助建立一个分析实验室，该实验室能够执行铀勘探和采矿以及矿石加工活动（包括湿法冶金工艺的开发）中常用的所有基本化学和仪器分析。它适用于具有分析化学一般背景但在铀和相关元素分析化学方面经验有限的化学家。本手册分为两部分。第一部分涉及实验室设计和操作的一般方面，第二部分包含国际铀业普遍接受的 17 种选定分析方法的描述。其他可能使用更复杂、更现代或更有效的技术产生类似结果的方法未包括在内，但在一般参考资料中有所提及。同样未包括在内的是那些广泛用于化学工业且可在现成的分析化学手册中找到的分析方法。本手册部分基于全球分析界开发的技术，特别是美国能源部大章克申实验室（科罗拉多州大章克申）和加拿大矿产和能源技术中心开发的技术。