红外探测与现代微电子技术的融合为紧凑型高分辨率红外成像提供了独特的机会。然而,作为现代微电子技术的基石,硅由于其带隙为 1.12 eV,只能探测有限波长范围(< 1100 nm)内的光,这限制了其在红外探测领域的应用。本文提出了一种光驱动鳍片场效应晶体管,它打破了传统硅探测器的光谱响应限制,同时实现了灵敏的红外探测。该装置包括用于电荷传输的鳍状硅通道和用于红外光收集的硫化铅薄膜。硫化铅薄膜包裹硅通道形成“三维”红外敏感栅极,使硫化铅-硅结处产生的光电压能够有效调节通道电导。在室温下,该器件实现了从可见光(635 nm)到短波红外区域(2700 nm)的宽带光电探测,超出了常规铟镓砷和锗探测器的工作范围。此外,它表现出 3.2×10 −12 的低等效噪声功率
根据2021年国际器件与系统路线图(IRDS),环栅晶体管(GAA)将从3nm技术节点开始取代FinFET,并应用于1nm技术节点。下一步,尺寸缩小的目标不仅是降低漏电,更重要的是降低功率,而包括三维异质集成在内的三维垂直架构将成为降低功耗的主流技术。要延续摩尔定律,不仅需要通过器件尺寸缩小来提高电路集成度,还需要降低功率和提高开关速度。堆叠式NSFET具有更好的静电完整性、短沟道免疫力,因此具有更好的功率缩放性能,是未来亚3nm技术节点的有希望的候选者[1−3]。