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基于自...的电子集成微导管
现有的电子集成导管依靠单独组件的手动组装来集成传感和驱动功能。这严重阻碍了它们的小型化和进一步集成。在这里，我们报告了一种电子集成的自组装微导管。用于传感和驱动的电子元件通过光刻处理的聚合物薄膜的自组装嵌入到导管壁中。该导管的直径仅为 0.1 毫米左右，集成了用于操纵的驱动手指和用于导航的磁传感器，能够有针对性地输送液体。基本功能通过人工模型环境和离体组织进行展示和评估。利用集成磁传感器，我们开发了一种医疗工具的磁跟踪策略，可实现低于 0.1 毫米的高分辨率的基本导航。这些高度灵活和微型的集成导管可能会扩展微创手术的界限并带来新的生物医学应用。
用于集成在电子集成电路上方的光子层的 CMOS 兼容沉积材料
摘要 — 近年来，硅光子学引起了越来越多的关注，主要用于微电子电路或生物传感应用中的光通信光互连。主要在绝缘体上硅平台上制造的用于 CMOS 兼容制造的基本无源和有源元件（包括探测器和调制器）的开发已达到如此高的性能水平，以至于应该解决硅光子学与微电子电路的集成挑战。由于晶体硅只能从另一个硅晶体中生长，因此无法在这种状态下沉积，因此光学器件通常仅限于单层。另一种方法是使用后端 CMOS 制造工艺在 CMOS 芯片上方集成光子层。本文讨论了用于此目的的各种材料，包括氮化硅、非晶硅和多晶硅。关键词 — 硅光子学、CMOS、集成。