1 Precision制造中心,DMEM,Strathclyde大学,格拉斯哥,英国w.xie@strath.ac.uk摘要摘要实现了对氧化增长的精确控制已成为局部阳极氧化(LAO)纳米术的质量控制的关键瓶颈,这是由于缺乏有效的流程监测和反馈控制方法而导致的纳米术。在这种情况下,本文提出并提出了一种现场检测方法,使用高度耐用的导电钻石涂层探针在老挝过程中实时监测氧化生长的状态。研究结果表明,使用钻石涂层的探针可以在微型水平上诱导具有瞬态电流的可控老挝,并创建高度超过18 nm的纳米结构,这尤其优于使用掺杂的硅探针获得的纳米结构。还证明,在一定的电压范围内,检测到的电流可以反映纳米碱制造过程中氧化的生长,检测到的电流与氧化表面的电导率相关,表明氧化程度。可以预期,与柔性脉冲调制的组合将有助于一种柔性,简单的方法来调整氧化生长,为生产高质量的氧化物线铺平道路。原子力显微镜,监测,纳米制造,氧化
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