近半个世纪以来,硅基微电子技术与光纤通信引发了一场影响深远的信息技术革命,将人类社会带入了高速信息时代,对通信容量和速率的需求呈指数级增长,而数据中心和高性能计算则面临着电互连速度、带宽、能耗等瓶颈制约,硅基光电子技术成为突破这些瓶颈的关键技术。硅凭借折射率高、可容纳小型有源元件、与CMOS兼容工艺等优势,可以在微芯片上以低成本、低能耗实现大规模光电集成,成为芯片产业的热门选择。此外,硅基光电子技术还催生了中红外通信、微波光电子学、片上实验室、量子通信、光电计算、芯片级激光雷达等一系列新的研究领域。本期特刊“硅光子学的最新进展”涵盖了该领域器件和应用的最新发展。本期特刊包含五篇评论文章和四篇原创研究文章,重点关注数据中心相干互连、光电计算、集成量子电路和硅基光电混合集成中的关键器件及其应用。
e x Cote s ummary the Art Silicon Photonics是光子综合电路(PICS)的有吸引力的技术,因为它直接建立在硅纳米电子世界的极端成熟基础上。因此,它以非常高的收率和低成本的方式打开了通向非常高级照片的路线。更准确地说,硅光子图片如今在200和300mm CMOS铸造厂的商业生产中,具有NM级别的精度和可重复性,从光子学的角度来看是前所未有的。基本技术利用了硅在绝缘子(SOI)晶圆中,其中硅氧化硅层的硅层上的硅层充当了波导的核心,该波导将芯片上的设备互连。或者,SOI晶片被硅晶片取代,用一堆氮化硅波导核心层包围,被氧化硅覆盖层包围。现在,这种氮化硅图片被认为是硅光子家族的组成部分。在此路线图的单独章节中描述了它们。因此,本章主要关注基于SOI的硅光子学,是硅光子学界的主要方式。值得注意的是,近年来,许多SOI PIC平台添加了第二个光子波引导层,是氮化硅层,从而结合了两种方法的最佳方法,并可以提高设计和增强性能的灵活性。
执行摘要 最新技术摘要 在过去 20 年中,硅光子学已成为光子集成电路 (PIC) 的一项极具吸引力的技术,因为它直接建立在硅纳米电子领域的极度成熟基础之上。因此,它开辟了一条通往非常先进的 PIC 的道路,具有非常高的产量和低成本。更准确地说,今天,硅光子 PIC 正在 200 毫米和 300 毫米 CMOS 代工厂中以纳米级精度和可重复性进行商业化生产,这从光子学的角度来看是前所未有的。基本技术利用绝缘体上硅 (SOI) 晶圆,其中埋氧层顶部的硅层充当连接芯片上器件的波导的核心。由于硅是导光材料,氧化硅是包层,该技术可以解决波长范围约为 1 至 4 m 的应用,从而包括以 1300nm、1550nm 和 1550(+)nm(分别为 O、C 和 L 波段)为中心的非常重要的光纤光谱带。硅光子学已经成为十多家公司(其中大部分是无晶圆厂公司)用于数据中心和电信网络中高数据速率收发器产品的首选技术。总的来说,他们向市场部署了估计数百万个硅光子收发器。大约有 20 个硅光子制造平台(部分为工业平台,部分为支持原型设计和小批量制造的研究机构平台)已经建立,这些平台基于现有基础设施和源自硅电子行业的专有技术(见附录 A1)。典型平台允许集成高速调制器和高速 Ge 探测器,符号率范围为 50 至 100 Gbaud,以及用于光束组合/分裂、波长选择功能、偏振选择功能和片外耦合的高级无源功能。一些平台允许其他功能,例如与高级电子设备的集成(单片或混合)、光源的集成(异构或混合)以及面向传感的功能(例如微流体)。大多数平台的运作方式类似于代工厂:任何最终用户都可以访问它们,无论是全掩模版/全晶圆批次 (FRFL) 模式还是成本分摊多项目晶圆 (MPW) 模式,其中最终用户可以提交部分掩模版的设计,并将收到几十个处理过的芯片而不是完整的晶圆。 FRFL 模式成本高昂(数十万欧元/美元),但每芯片成本较低(每芯片约 10 欧元/美元),而 MPW 模式每设计成本更实惠(数十万欧元/美元),但每芯片成本约 1000 欧元/美元。当扩展到更高产量(例如 1000 片晶圆)时,芯片成本可降至每芯片 1 欧元/美元以下,因为固定掩模和间接成本在整个批次中摊销。当代工厂基础设施的投资已经折旧或与其他用户共享时,较低的单芯片成本也会受益。芯片代工厂向其客户提供工艺设计套件 (PDK)。这些 PDK 详细说明了给定平台的设计规则,并包含基本组件和电路库。硅光子学 PDK 的成熟度尚未达到 CMOS IC 代工厂的水平。今天,硅光子学 PDK 仅包含非常基本的构建模块库,特别是对于 MPW 操作模式。未来的硅光子学 PDK 必须包含组件和电路的紧凑模型,其参数基于经过验证的测量数据,并考虑到晶圆之间和晶圆之间的工艺变化。
摘要:锂邻磷酸锂(Li 3 PS 4)已成为固态电池电池的有前途的候选人,这要归功于其高电导阶段,廉价的组件和较大的电化学稳定性范围。尽管如此,Li 3 PS 4中锂离子转运的显微镜机制远非充分理解,PS 4动力学在电荷运输中的作用仍然存在争议。在这项工作中,我们建立了针对最先进的DFT参考的机器学习潜力(PBESOL,R 2扫描和PBE0),以在Li 3 PS 4(α,α,β和γ)的所有已知阶段(α,α,β和γ)的所有已知阶段解决此问题,以实现大型系统大小和时间尺度。我们讨论了观察到的Li 3 PS 4的超级离子行为的物理来源:PS 4翻转的激活驱动了结构性过渡到高导电阶段,其特征在于Li地点的可用性增加以及锂离子扩散的激活能量的急剧降低。我们还排除了PS 4四面体在先前声称的超级离子阶段中的任何桨轮效应,这些阶段以前声称,由于PS 4 Flips的速率和Li-ion Hops在熔化以下的所有温度下,li-ion扩散。我们最终通过强调了Nernst -Einstein近似值以估计电导率的失败来阐明电荷转运中外部动力学的作用。我们的结果表明,对目标DFT参考有很强的依赖性,而PBE0不仅对电子带隙,而且对β-和α -LI 3 PS 4的电导率提供了最佳的定量一致性。
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