粒状结构

聚焦离子束沉积碳铂纳米线用于低温电阻测温

在低温下研究经典和量子热效应需要使用片上局部高灵敏度测温法。使用聚焦离子束 (FIB) 辅助沉积制备的碳铂复合材料形成粒状结构，本研究表明，这种结构特别适合此应用。使用 24 pA 离子束电流沉积的碳铂温度计在 1 K 以下具有高灵敏度，可与最好的低温温度计相媲美。此外，这些温度计可以使用无掩模工艺精确放置在芯片上数十纳米的范围内。它们还具有弱磁场依赖性，在施加 0 至 8 T 的磁场时电阻变化小于 3%。最后，由于目前广泛使用 FIB，这些温度计可集成到各种纳米级设备中。© 2020 Elsevier Ltd。保留所有权利。