摘要:为防止化石资源枯竭并保护自然平衡,可再生资源成为化石资源的替代品。风能资源是可再生能源之一,在确保能源可靠性和资源利用方面具有重要意义。发电机是风能转换的最重要部件。永磁同步发电机 (PMSG) 是风力涡轮机的首选,因为它们具有高效率和高体积/扭矩密度,因此 PMSG 的优化是风能界的一个重要课题。一方面,这些机器在长期运行过程中可能会因过热和机械摩擦而引起问题。为了确定由于退磁故障导致的机器性能缺陷,我们进行了系统的工作。当 PMSG 的磁体以不同的速率(即 33%、50% 和 100%)退磁时,我们探索了发电中的伪影。此外,还检查了发电机在额定负载下的扭矩性能并揭示了磁通密度分布。当磁铁的退磁率增加时,额定扭矩大幅下降。
光学显微镜显示蚀刻后表面清晰无特征。总之,我们描述了一种制造可靠、易于去除的高能高剂量离子注入掩模的新工艺。要注入的样品以额外的 AIGaAs 金属剥离层作为表面层,在其上通过常规光刻胶剥离技术对金属掩模进行图案化。注入后,通过使用 HCl 选择性蚀刻 AIGaAs 来去除 AIGaAs 金属剥离层和金属掩模。由于 HCl 的选择性,在去除金属掩模期间底层外延结构不会受损。这项工作得到了国家科学基金会化合物半导体微电子工程研究中心 (CDR-85-22666)、材料研究实验室 (DMR-86-12860) 和海军研究实验室 (NOOO14-88-K-2oo5) 的支持。
