镀膜

第 65 届年度技术会议论文集：2022 年 5 月 2 日至 5 日 © 2022 真空镀膜协会保留所有权利，ISSN 0737-5921，ISBN 978-1-8780

钼 (Mo) 和钨 (W) 因利用这些难熔金属的特殊材料特性而得到广泛的应用。演讲将概述 Mo 和 W 在微电子、显示器和太阳能行业的重要应用，并介绍特定应用所需的最相关材料特性。钼因其在玻璃上的优异附着力、高电导率和良好的扩散阻挡性能而用于显示器的薄膜晶体管 (TFT) 和薄膜太阳能电池的电极。Mo 和 W 薄膜的高密度和良好的电阻率对于 MEMS 组件（如 RF 滤波器 (SAW/BAW) 或压电传感器）非常重要。在半导体制造中，由于电子在小临界尺寸下的平均自由程较长，Mo 和 W 可以作为薄膜材料发挥关键作用，以实现更小的节点和器件结构。对于电致变色应用，通常使用氧化钨基材料作为有源层。