摘要:本文旨在研究补偿硅压力传感器的迟滞误差,以提高传感器精度。研究对象是基于MEMS技术的工业领域中的大量程扩散硅压阻式压力传感器。由于传感器的迟滞特性复杂,补偿困难,目前尚未见相关研究的先例。作者分析了迟滞特性的成因和影响因素,并通过实验证明了硅压力传感器满足广义Preisach模型的必要和充分条件。利用传感器的Preisach模型,采用逆广义Preisach模型的补偿算法对迟滞误差进行补偿,实验表明,补偿后迟滞误差明显减小,从而提高了传感器的精度。
1 米尼奥大学物理中心,4710-057,布拉加,葡萄牙 2 米尼奥大学 IB-S 可持续发展科学与创新研究所,4710-057,布拉加,葡萄牙 3 米尼奥大学聚合物与复合材料研究所 IPC/I3N,4800-058 吉马良斯,葡萄牙 4 BCMaterials,巴斯克材料、应用与纳米结构中心,HU 科技园,48940 Leioa,西班牙 5 IKERBASQUE,巴斯克科学基金会,48013,毕尔巴鄂,西班牙
* Keith B. Hall 是路易斯安那州矿产法研究所所长,也是路易斯安那州立大学的法学教授。他担任新奥尔良律师协会石油和天然气部门主席、路易斯安那州律师协会环境法部门即将上任的主席以及落基山矿产法基金会董事会成员。此外,他还与人合著了《路易斯安那州律师杂志》双月刊上的《最新发展:矿产法》。在加入路易斯安那州立大学之前,他是新奥尔良 Stone, Pigman, Walther, Wittmann LLC 的成员,在那里执业 16 年,专注于石油和天然气法、环境法和有毒侵权诉讼。他还担任该公司能源和环境实践小组的联席主席,并撰写了其律师事务所博客《石油和天然气法简报》。在从事法律工作期间,他还担任新奥尔良洛约拉大学法学院的兼职教授,讲授《矿产法概论》课程。
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* Keith B. Hall 是路易斯安那州矿产法研究所所长,也是路易斯安那州立大学的法学教授。他担任新奥尔良律师协会石油和天然气部门主席、路易斯安那州律师协会环境法部门即将上任的主席以及落基山矿产法基金会董事会成员。此外,他还与人合著了《路易斯安那州律师杂志》双月刊上的《最新发展:矿产法》。在加入路易斯安那州立大学之前,他是新奥尔良 Stone, Pigman, Walther, Wittmann LLC 的成员,在那里执业 16 年,专注于石油和天然气法、环境法和有毒侵权诉讼。他还担任该公司能源和环境实践小组的联席主席,并撰写了其律师事务所博客《石油和天然气法简报》。在从事法律工作期间,他还担任新奥尔良洛约拉大学法学院的兼职教授,讲授《矿产法概论》课程。
路易斯安那州立大学。他担任新奥尔良律师协会石油和天然气部门主席、路易斯安那州律师协会环境法部门即将上任的主席以及落基山矿产法基金会董事会成员。此外,他还与人合著了《路易斯安那州律师杂志》双月刊的“最新发展:矿产法”。在加入路易斯安那州立大学之前,他是新奥尔良 Stone, Pigman, Walther, Wittmann LLC 的成员,在那里执业十六年,专注于石油和天然气法、环境法和有毒侵权诉讼。他还担任该公司能源和环境实践小组的联席主席,并撰写了其律师事务所博客“石油和天然气法律简报”。在从事法律工作的同时,他还担任新奥尔良洛约拉大学法学院的兼职教授,讲授《矿产法概论》课程。
缩写 AIS = 简明损伤量表;AMP = ICP 脉冲幅度;AU = 任意单位;AUC = 曲线下面积;CENTER-TBI = 欧洲创伤性脑损伤神经创伤效果合作研究;CT = 计算机断层扫描;FFT = 快速傅里叶变换;GCS = 格拉斯哥昏迷量表;GOSE = 格拉斯哥扩展预后量表;HFC = 高频质心;HHC = 高次谐波质心;ICP = 颅内压;ICU = 重症监护病房;IQR = 四分位距;ISS = 损伤严重程度评分;MANOVA = 多元方差分析;MLS = 中线移位;PRx = 压力反应指数;PSI = 脉搏形状指数;ResNet = 残差神经网络;ROC = 受试者工作特征;TBI = 创伤性脑损伤。提交于 2022 年 6 月 27 日。接受于 2022 年 10 月 28 日。引用时请注明 2022 年 12 月 23 日在线发布;DOI:10.3171/2022.10.JNS221523。
0 。。。。4 毫巴 50 毫巴................................................. . . 5 2 0 .。。。6 毫巴 50 毫巴................................................. . . 5 3 0 .。。10 MBAR 100 MBAR ...................................................................................................................................................................... . . 5 4 0 .。。16 MBAR 100 MBAR .......................................................................................................................................................................... . . 5 5 0 .。。25 毫巴 250 毫巴................................................. . . 5 6 0 .。。40 毫巴 250 毫巴................................................. . . 5 7 0 .。。60 毫巴 500 毫巴................................................. . . 5 8 0 .。100 毫巴 500 毫巴................................................. . 5 9 0 .。160 毫巴 1500 毫巴....................................... 6 0 0 。。250 毫巴 1500 毫巴................................................. . 8 2 - 2.5。。2.5 毫巴 50 毫巴....................................... …… 6 - 4 。。。。4 毫巴 50 毫巴................................................. …… 7-6。。。。6 毫巴 100 毫巴................................................. ..A 8 - 10 .。。10 毫巴 100 毫巴................................................. …… 9 - 16 。。。16 MBAR 250 MBAR .................................................................................................................................................... ……B 1-25。。。25 毫巴 250 毫巴................................................. ……B 2-40。。。40 毫巴 500 毫巴................................................. C 5-60。。。60 毫巴 500 毫巴................................................. . .B 3 压力连接 用于 6 / 4 mm 软管的螺纹软管夹接头 ................................. 4 0 用于 8 的螺纹软管夹接头/ 6 mm 软管 ................................................ 4 1 信号输出 无信号输出................................................................ ................................................................ ...... 0 电流输出:0 - 20 mA 线性,3 线...................................... ........................................................ A 电压输出:0 - 10 V直流线性, 3 线................................................... ........................ C 电流输出:4 - 20 mA 线性,3 线......................................... ................................................... P 电源电压 分区>
ENDEVCO ® 8500 型扩散压阻式压力传感器是压力传感器系列,与 Endevco 生产高质量仪器的传统一脉相承。除了高质量和高性能之外,这些传感器还具有高度的微型化。该产品系列中最受欢迎的版本之一采用 10-32 UNF 螺纹外壳(直径 5 毫米)。由硅制成的压力传感表面的有效面积直径仅为 0.08 英寸(2 毫米)。性能和耐用性的关键在于独特的传感器设计,该设计结合了扩散到硅芯片中的四臂惠斯通电桥。Endevco 开发了一种特殊形状的硅芯片,而不是简单的平面隔膜,可将应力集中在电阻元件的位置。这可以提高给定共振频率的灵敏度,并大幅提高耐用性。小型传感器内包含桥平衡和温度补偿元件,以优化性能。这是通过使用混合电路制造技术实现的。
