1 浙江省重点实验室,杭州 311121;20112020109@fudan.edu.cn (YL);qhu@mail.ustc.edu.cn (QH);hanyk@zhejianglab.com (YH);pengb806@nenu.edu.cn (BP);jianghaijun@zhejianglab.com (HJ) 2 复旦大学微电子学院,上海 200433;xuexiaoyong@fudan.edu.cn 3 中国科学技术大学微电子学院,合肥 230026;wuqiqiao@mail.ustc.edu.cn (QW);xuanzhi@mail.ustc.edu.cn (XL); chengjinhui@mail.ustc.edu.cn (JC) 4 中国科学院微电子研究所微电子器件集成技术重点实验室,北京 100029,中国;zhaoyulin@ime.ac.cn (YZ);zhangdonglin20@mails.ucas.ac.cn (DZ);hanzhongze@ime.ac.cn (ZH);dingqingting@ime.ac.cn (QD);lvhangbing@ime.ac.cn (HL) * 通讯地址:yangjianguo@ime.ac.cn;电话:+86-10-82995585