新一代洁净室真空系统仅提供干式恢复或干湿配置 专为制药、半导体和微电子行业设计 符合 ISO 14644-1 定义的 ISO 4 级洁净室条件(按照 FED STD 209E 为 10 级) 完全不锈钢结构,具有电抛光表面以去除表面污染。 回收罐和轮子可在高达 121°C 的温度下高压灭菌 2 级旁路电机提供强大的吸力和安静的运行 符合 GMP 标准 每台真空吸尘器在出厂前都经过气溶胶泄漏测试 多级过滤系统。简单可靠的过滤器更换 两个绝对 ULPA 过滤器(按照 EN 1822 额定为 U15)安装在真空系统的工作空气和冷却空气排气口。这些过滤器确保与旁路电机 ULPA 过滤器组装的真空系统的洁净室兼容性, 0.18 微米的过滤效率为 99.9995%。经 IEST-RP-CC001 测试 - 包括主过滤器由一次性收集袋和聚酯制成的主过滤器组成。过滤等级 M 符合 IEC 60335-2-69 标准。回收罐由 SAE 316 不锈钢制成,可完全高压灭菌(最高 121°C),包括白色尼龙轮。静电导电灰色轮(不可高压灭菌)可根据要求提供。不锈钢浮子(液体截止)可拆卸,便于拆卸和维护。它也可高压灭菌(最高 121°C)。可高压灭菌的
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