创建粒度分布的最准确方法是单独测量每个粒子。AccuSizer 系统对通过传感器检测区的每个粒子进行计数和尺寸测量,并一次构建一个粒子的分布。这样可以创建准确的高分辨率结果。图 4 显示了通过 45 µm 筛子的样品。蓝色 AccuSizer SPOS 系统结果清楚地显示了截断分布,而红色激光衍射结果将分布扩大到包括不存在的 >100 µm 的粒子。
CMP 溶液在半导体技术高速公路中发挥着不可或缺的作用。它们是高密度集成电路生产中必不可少的一步。CMP 溶液是由许多成分组成的复杂分散体。这些胶体系统的生产和稳定性非常复杂且难以预测,因此必须在生产过程中甚至在最终发货之前对其进行监控。一些 CMP 悬浮液表现出独特的行为,它们受剪切和机械应力的影响,导致不可逆的聚集。这些低水平的聚集物通常会在晶圆加工过程中造成划痕,有时直到生产进行到很晚才被发现,从而给最终用户带来重大的经济损失。AccuSizer ® 在 CMP 浆料制造和使用的整个产品链中一直发挥着重要作用,并且将继续发挥重要作用。从原材料供应商、CMP 浆料制造商、浆料分销供应商、过滤器供应商到芯片制造商,Entegris 和 AccuSizer 50 多年来一直在积极检测和提供有关好浆料和坏浆料的信息。
MCPA 计数器通过 USB 电缆连接到您的计算机。在初始连接时,您的计算机将通过 USB 电缆提供 5 V 电压以启动与 MCPA 的连接。但是,MCPA 对 USB 连接 (VBUS) 的不稳定性很敏感,这可能会导致连接失败。该问题将表现为 AccuSizer 软件无法连接到设备。此问题可能通过以下方式解决:1) 更新 Windows,2) 更新您的计算机 USB 驱动程序,或 3) 安装提供的外部 USB 集线器。