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原子级沉积将延伸摩尔定律及超越
摘要 在过去的几十年中，摩尔定律推动半导体行业不断将晶体管的临界尺寸缩小至7纳米。随着晶体管进一步缩小到更小的尺寸，摩尔定律达到了极限，芯片上晶体管密度的增加速度减慢。目前，一些关键步骤已经采用了极紫外光刻技术，它在大批量生产中面临着对准精度和高成本的问题。同时，新材料和3D复杂结构的引入给自上而下的方法带来了严峻的挑战。因此，自下而上的方案被认为是与自上而下工艺相结合的必要方法。本文对原子级沉积方法进行了回顾和分类，以延伸摩尔定律并超越摩尔定律。首先，沉积带来了垂直方向的横向埃级分辨率以及自上而下的刻蚀，例如双重图案化、纳米线的转移、纳米管的沉积等。其次，各种模板辅助的选择性沉积方法，包括介质模板、抑制剂和校正步骤，已经用于3D复杂结构的对准。更高的分辨率可以通过固有的选择性沉积来实现，并讨论了潜在的选择性机制。最后，还讨论了更高精度和效率制造的要求，包括设备、集成过程、放大问题等。本文回顾了低维制造和三维复杂结构的集成，以在半导体领域以及包括但不限于能源、催化、传感器和生物医学的新兴领域中扩展摩尔定律。
材料表征对技术进步和工业增长的展望：强调无损评估
材料是人类进步的指标。事实上，人类的进化与材料和金属息息相关，例如石器时代、青铜时代、铁器时代等。人类在进化时期和文明中的努力得益于适当材料和相关成型技术的发展。我们已经从使用金属和合金到越来越多地使用人造复合材料和结构陶瓷的有前景的应用走了很长一段路。当今的发展时代表明需要以全球视角看待材料。这意味着金属和合金、复合材料和陶瓷的使用应由其性能和经济可行性决定。在我们努力实现更好的人类生活质量的过程中，各种材料是互补的，而不是竞争的。成功使用材料需要对材料进行充分表征。材料表征是一项具有重大研究意义的前沿活动，具有应用价值。对材料化学表征、几埃级微观结构评估以及对各种材料和部件中几微米到几毫米的缺陷评估的需求，催生了大量技术和仪器。计算、自动化和可视化的快速发展帮助材料表征领域实现了将表征参数与材料性能行为以有意义的方式关联的目标。材料科学与工程是一项多学科活动，具有丰富的应用价值。早期从事金属加工的印度人以
符号和缩写
A 或 ˚ A 埃单位 5 10 2 10 米；3.937 3 10 2 11 英寸 A 质量数 5 N 1 Z；安培 AA 算术平均值 AAA 美国汽车协会 AAMA 美国汽车制造商协会 AAR 美国铁道协会 AAS 美国宇航协会 ABAI 美国锅炉及附属工业 abs 绝对 ac 空气动力中心 ac，ac 交流电 ACI 美国混凝土协会 ACM 计算机协会 ACRMA 空调和制冷制造商协会 ACS 美国化学协会 ACSR 铝电缆钢筋 ACV 气垫车 AD anno Domini（公元 1855 年） AEC 美国原子能委员会 af，af 音频频率 AFBMA 抗摩擦轴承制造商协会 AFS 美国铸造工人协会 AGA 美国燃气协会 AGMA 美国齿轮制造商协会 ahp 空气马力 AlChE 美国化学工程师协会 AIEE 美国电气工程师协会（参见 IEEE） AIME 美国采矿工程师协会 AIP 美国物理学会 AISC 美国钢结构协会 AISE 美国钢铁工程师 AISI 美国钢铁协会 am ante meridiem（中午之前） am, am 调幅 Am. Mach. 美国机械师（纽约） AMA 声学材料协会 AMCA 空气移动与调节协会 amu 原子质量单位 AN 硝酸铵（爆炸物）；陆军-海军规范 AN-FO 硝酸铵燃料油（爆炸物） ANC 陆军-海军民用航空委员会 ANS 美国核能协会
附录 - Springer 链接
A 乙醛 AC 纤维素醋酸盐 A 丙酮、丙烯酸酯、丙烯腈、醇酸树脂、酰胺等 ACC 汽车复合材料联盟ACCS 先进复合材料结构 A 安培系统 A 埃 ACF 活性碳纤维 A 面积 ACG 先进复合材料集团 AA 乙醛 ACGIH 美国政府会议 AA 丙烯酰胺 工业卫生学家 AA 铝业协会 ACI 美国混凝土协会 AA 原子吸收 ACM 丙烯酸酯橡胶 AAAS 美国先进科学协会 ACM 丙烯酸酯橡胶 ACM 先进固化监测器 AAc 丙烯酸 ACM 美国化学制造商 AAC 戊酸乙酸酯 Acn 丙酮 AAE 美国工程师协会 ACMS 先进材料科学中心 AAES 美国工程（印度）学会协会 ACN 丙烯腈 AAEZ 美国企业协会 ACPES 丙烯腈氯化聚乙烯 苯乙烯 AAGR 年均增长率 ACR 丙烯酸酯氯化橡胶AAm 丙烯酰胺 ACR 丙烯酸纤维 AAMI 医疗器械促进会 ACS 丙烯腈-氯化聚乙烯-苯乙烯 AAMA 美国建筑制造协会 ACS 美国陶瓷学会协会 ACS 美国外科医师学会 AAR 美国铁路协会 ACS 澳大利亚海关服务 AAS 丙烯酸酯-苯乙烯-丙烯腈 ACT 振幅相关时间 AAS 科学促进会 ACTC 先进复合材料技术联盟 AAS 原子吸收光谱 AID 模数转换（也称为 ADC） AATC 美国纺织化学协会 AD 表观密度 AB 防粘连 AD 平均偏差 ABA 丙烯腈-丁二烯-丙烯酸酯 ADA 己二酸 ABA 美国律师协会 ADA 美国残疾人法案 缩写缩写 ADC 烯丙基二甘醇碳酸酯（另见 ABC 活动成本核算 CR-39） ABC 原子、生物、化学 ADC 重铬酸铵 AI3EA 偶氮二甲酰胺 ADC 模拟数字转换（也称为 ABL 阿勒格尼弹道实验室 AID） ABR 丙烯酸酯-丁二烯橡胶 ADCB 非对称双悬臂梁 ABC 活动成本核算 adh。粘合剂 聚甲醛（见 POM） ADS 添加剂输送系统 abs。绝对值 ADS 风干片 ABS 吸光度 AE 声发射 ABS 丙烯腈-丁二烯-苯乙烯 AE 辅助设备 AC 聚甲醛（聚合物） AEB 平均燃烧程度 AC 先进复合材料 AEC 丙烯腈-乙烯-苯乙烯 AC 交流电 AECO 环氧氯丙烷橡胶
最新实用英汉电信词典
A a A = availability 可用性 Å = angstrom 埃 @ = at 1.单价 2.电子邮件地址账号和域名之间的分 隔符 A-A = analog-analog 模拟 - 模拟 A&B bit signaling A 和 B 位信令 A-B cut mixer 一级图像混合器 , A-B 图像混合器 A&B leads A 线和 B 线 A band A 波段 A Block 1.( 复式人工交换局 ) 甲交换台 , A 交换台 2.甲 盘 , A 盘 A carrier = alternate carrier 甲类电话公司 , 另一种电 话公司 A condition ( 起止式传输中的 )A 状态 , 起状态 , 启动空 号状态 A-D = analog-digital 模 ( 拟 ) —数 ( 字 ) A/D = analog-digital 模数转换 A/D coder 模数转换器 A/D conversion 模数转换 A/D converter 模 ( 拟 )/ 数 ( 字 ) 转换器 A interface A- 接口 A-law coding A 律编码 A/M = automatic/manual 自动 / 人工 A operator ( 复式人工交换局 ) 甲台话务员 A party 主叫方 , 主叫用户 A register A 寄存器 , 运算寄存器 A/Z 起 / 止脉冲 , 起 / 止脉冲比 , 空号 / 传号脉冲 , 空号 / 传 号脉冲比 AAA = authentication, authorization and accounting ( 移动通信 ) 鉴权 , 授权与计费 AAB = automatic alternative billing 自动更换记账 / automatic answerback 自动应答 AAL = ATM adaptation layer 异步转移传递模式适配层 , ATM 适配层 AAL1 ATM 适配层 1 AAL2 ATM 适配层 2 AAL3/4 ATM 适配层 3/4 AAL5 ATM 适配层 5 AARP Apple Talk 地址解析协议 abac 计算图表 , 列线图 , 诺模图 abac-parameter 四端网络参数 , 四端网络参量 abandon call 中途放弃呼叫 abandon pause 呼叫中途挂机 , 未接通暂停 abandoned call 放弃的呼叫 abandoned call attempt 放弃的试呼 abandoned traffic 损失业务 , 放弃的业务 abatement 1.抑制 , 消除 2.废料 Abbe condenser 阿贝聚光镜 Abbe number 阿贝数 , 色散系数 abbreviated address 缩位地址 , 缩写地址 abbreviated addressing 短缩寻址 abbreviated call 缩位呼叫 , 缩位拨号 , 简呼 abbreviated character 简化字符 abbreviated dialing 缩位拨号 abbreviated signal code 缩写信号码 abbreviative notation 缩写标记 ABD = abbreviated dialing 缩位拨号 abd technique 诱导技术 abduction 诱导 , 推断 , 推测 abductive reasoning 反绎推理 abductive technique 诱导技术 abecedarian 按顺序排列的 Abel transform 阿贝尔变换 Abelian group 阿贝尔群 abend 异常终止 , 异常结束 aberration 1.越轨 , 偏差 2.像差 , 色差 3.失常 , 畸变 4.光行差 aberration curve 像差曲线 aberration function 误差函数
缩写和首字母缩略词
A 安培、面积、高度、埃 (Å)、处理系统天线孔径或天线 (英国) AFOTEC 空军作战 T&E 中心 A-799 无故障证据报告 A/G 空对地 A/A、AA、AA 空对空或防空 AGB 自主制导炸弹 AA-() 空对空导弹编号 () AGC 自动增益控制 AAA 防空炮兵 AGI 辅助通用情报 AAAA 美国陆军航空协会 (情报收集船) AAED 先进机载消耗性诱饵 AGL 高于地面 AAM 空对空导弹 AGM 空对地导弹 AARGM 先进反辐射制导 AGS 角门窃取导弹 (概念) AHWS 先进直升机武器系统 AAW 防空战 AI 人工智能、空中拦截或 A-BIT 自动内置测试机载拦截器ABM 吸气式导弹或 AIAA 美国航空与反弹道导弹协会 宇航 A/C 飞机（也称为 acft.） AIC 空中拦截控制 AC 交流电 AIM 空中拦截导弹 ACA 联合承包商协议或 AIRLANT 美国海军航空兵司令，空域协调区 大西洋舰队 ACAT 采购类别 AIRPAC 美国海军航空兵司令，ACCB 飞机配置控制委员会 太平洋舰队 Acft 飞机（也称为 A/C） AJ 抗干扰或抗干扰 ACLS 航空母舰着陆系统 A-Kit 系统的飞机接线套件 ACM 先进巡航导弹或空中（包括电缆、机架等，但不包括作战机动 WRA） ACQ 采购 AM 幅度调制 ACS 天线耦合器组 AMD 飞机维修部 ACTD 先进概念技术 AMES 先进多环境演示模拟器 A/D 模拟到数字 AMLV 先进存储器加载器/验证器 Ada 不是首字母缩略词。Ada 是 DoD Amp 放大器标准编程语言。 AMRAAM 先进、中程、空对空 ADM 先进开发模型导弹 ADP 自动数据处理或 ANSI 美国国家标准协会先进开发计划 ANT 天线 ADVCAP 先进能力 A 作战可用性 AEC 航空电子战（陆军） AO 声光 AEGIS 自动电子制导拦截 AOA 到达角、攻角或替代方案系统分析（类似于 AEL 可访问发射限值 COEA） AEW 机载预警 AOC 老乌鸦协会（专业 AF 天线因子、空军或音频 EW 协会）或合同授予 频率 AOT 仅角度跟踪、尾部角度或 AFB 空军基地或机身公告 目标捕获 AFC 自动频率控制或 APC 安费诺精密连接器或机身更换 装甲运兵车
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A 安培、面积、高度、埃 (Å)、处理系统天线孔径或天线 (英国) AFOTEC 空军作战 T&E 中心 A-799 无故障证据报告 A/G 空对地 A/A、AA、AA 空对空或防空 AGB 自主制导炸弹 AA-() 空对空导弹编号 () AGC 自动增益控制 AAA 防空炮兵 AGI 辅助通用情报 AAAA 美国陆军航空协会 (情报收集船) AAED 先进机载消耗性诱饵 AGL 高于地面 AAM 空对空导弹 AGM 空对地导弹 AARGM 先进反辐射制导 AGS 角门窃取导弹 (概念) AHWS 先进直升机武器系统 AAW 防空战 AI 人工智能、空中拦截或 A-BIT 自动内置测试机载拦截器ABM 吸气式导弹或 AIAA 美国航空与反弹道导弹协会 宇航 A/C 飞机（也称为 acft.） AIC 空中拦截控制 AC 交流电 AIM 空中拦截导弹 ACA 联合承包商协议或 AIRLANT 美国海军航空兵司令，空域协调区 大西洋舰队 ACAT 采购类别 AIRPAC 美国海军航空兵司令，ACCB 飞机配置控制委员会 太平洋舰队 Acft 飞机（也称为 A/C） AJ 抗干扰或抗干扰 ACLS 航空母舰着陆系统 A-Kit 系统的飞机接线套件 ACM 先进巡航导弹或空中（包括电缆、机架等，但不包括作战机动 WRA） ACQ 采购 AM 幅度调制 ACS 天线耦合器组 AMD 飞机维修部 ACTD 先进概念技术 AMES 先进多环境演示模拟器 A/D 模拟到数字 AMLV 先进存储器加载器/验证器 Ada 不是首字母缩略词。Ada 是 DoD Amp 放大器标准编程语言。 AMRAAM 先进、中程、空对空 ADM 先进开发模型导弹 ADP 自动数据处理或 ANSI 美国国家标准协会先进开发计划 ANT 天线 ADVCAP 先进能力 A 作战可用性 AEC 航空电子战（陆军） AO 声光 AEGIS 自动电子制导拦截 AOA 到达角、攻角或替代方案系统分析（类似于 AEL 可访问发射限值 COEA） AEW 机载预警 AOC 老乌鸦协会（专业 AF 天线因子、空军或音频 EW 协会）或合同授予 频率 AOT 仅角度跟踪、尾部角度或 AFB 空军基地或机身公告 目标捕获 AFC 自动频率控制或 APC 安费诺精密连接器或机身更换 装甲运兵车
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A 安培、面积、高度、埃 (Å)、处理系统天线孔径或空中 (英国) AFOTEC 空军作战 T&E 中心 A-799 无故障证据报告 A/G 空对地 A/A、A-A、AA 空对空或防空 AGB 自主制导炸弹 AA-() 空对空导弹编号 () AGC 自动增益控制 AAA 防空炮兵 AGI 辅助通用情报 AAAA 美国陆军航空协会 (情报收集船) AAED 先进机载消耗性诱饵 AGL 高于地面 AAM 空对空导弹 AGM 空对地导弹 AARGM 先进反辐射制导 AGS 角门窃取导弹 (概念) AHWS 先进直升机武器系统 AAW 防空战 AI 人工智能、空中拦截或 A-BIT 自动内置测试机载拦截器 ABM 吸气式导弹或 AIAA 美国航空和反弹道导弹航天学会 A/C 飞机（也称 acft.）AIC 空中拦截控制 AC 交流电 AIM 空中拦截导弹 ACA 联合承包商协议或 AIRLANT 美国指挥官海军航空兵，空域协调区 大西洋舰队 ACAT 采购类别 AIRPAC 美国指挥官海军航空兵，ACCB 飞机配置控制委员会 太平洋舰队 Acft 飞机（也称 A/C） AJ 抗干扰或抗干扰 ACLS 航空母舰着陆系统 A-Kit 系统飞机接线套件 ACM 先进巡航导弹或空中（包括电缆、机架等。不包括战斗机动 WRA） ACQ 采购AM 幅度调制 ACS 天线耦合器组 AMD 飞机维修部 ACTD 先进概念技术 AMES 先进多环境演示模拟器 A/D 模拟到数字 AMLV 先进内存加载器/验证器 Ada 不是首字母缩略词。Ada 是 DoD Amp Amplifier 标准编程语言。AMRAAM 先进中程空对空 ADM 先进发展模型导弹 ADP 自动数据处理或 ANSI 美国国家标准协会先进发展计划 ANT 天线 ADVCAP 先进能力 A 作战可用性 AEC 航空电子战（陆军） AO 声光 AEGIS 自动电子制导拦截 AOA 到达角、攻角或替代方案系统分析（类似于 AEL 可访问发射限值 COEA） AEW 机载预警 AOC 老乌鸦协会（专业 AF 天线因子、空军或音频 EW 协会）或合同授予 频率 AOT 仅角度跟踪、尾部角度或 AFB 空军基地或机身公告 目标捕获 AFC 自动频率控制或 APC 安费诺精密连接器或机身更换 装甲运兵车
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A 安培、面积、高度、埃 (Å)、处理系统天线孔径或空中 (英国) AFOTEC 空军作战 T&E 中心 A-799 无故障证据报告 A/G 空对地 A/A、A-A、AA 空对空或防空 AGB 自主制导炸弹 AA-() 空对空导弹编号 () AGC 自动增益控制 AAA 防空炮兵 AGI 辅助通用情报 AAAA 美国陆军航空协会 (情报收集船) AAED 先进机载消耗性诱饵 AGL 高于地面 AAM 空对空导弹 AGM 空对地导弹 AARGM 先进反辐射制导 AGS 角门窃取导弹 (概念) AHWS 先进直升机武器系统 AAW 防空战 AI 人工智能、空中拦截或 A-BIT 自动内置测试机载拦截器 ABM 吸气式导弹或 AIAA 美国航空和反弹道导弹航天研究所 A/C 飞机（也称为 acft.）AIC 空中拦截控制 AC 交流电 AIM 空中拦截导弹 ACA 联合承包商协议或 AIRLANT 美国指挥官海军航空兵，空域协调区 大西洋舰队 ACAT 采购类别 AIRPAC 美国指挥官海军航空兵，ACCB 飞机配置控制委员会 太平洋舰队 Acft 飞机（也称为 A/C） AJ 抗干扰或抗干扰 ACLS 航空母舰着陆系统 A-Kit 系统飞机接线套件 ACM 先进巡航导弹或空中（包括电缆、机架等。Ada 是 DoD Amp Amplifier 标准编程语言。（不包括战斗机动 WRA） ACQ 获取 AM 幅度调制 ACS 天线耦合器组 AMD 飞机维修部 ACTD 先进概念技术 AMES 先进多环境演示模拟器 A/D 模拟到数字 AMLV 高级内存加载器/验证器 Ada 不是首字母缩略词。AMRAAM 先进中程空对空 ADM 先进发展模型导弹 ADP 自动数据处理或 ANSI 美国国家标准协会先进发展计划 ANT 天线 ADVCAP 先进能力 A 作战可用性 AEC 航空电子战（陆军） AO 声光 AEGIS 自动电子制导拦截 AOA 到达角、攻角或替代方案系统分析（类似于 AEL 可访问发射限值 COEA） AEW 机载预警 AOC 老乌鸦协会（专业 AF 天线因子、空军或音频 EW 协会）或合同授予 频率 AOT 仅角度跟踪、尾部角度或 AFB 空军基地或机身公告 目标捕获 AFC 自动频率控制或 APC 安费诺精密连接器或机身更换 装甲运兵车
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A 安培、面积、高度、埃 (Å)、处理系统天线孔径或天线 (英国) AFOTEC 空军作战 T&E 中心 A-799 无故障证据报告 A/G 空对地 A/A、AA、AA 空对空或防空 AGB 自主制导炸弹 AA-() 空对空导弹编号 () AGC 自动增益控制 AAA 防空炮兵 AGI 辅助通用情报 AAAA 美国陆军航空协会 (情报收集船) AAED 先进机载消耗性诱饵 AGL 高于地面 AAM 空对空导弹 AGM 空对地导弹 AARGM 先进反辐射制导 AGS 角门窃取导弹 (概念) AHWS 先进直升机武器系统 AAW 防空战 AI 人工智能、空中拦截或 A-BIT 自动内置测试机载拦截器ABM 吸气式导弹或 AIAA 美国航空与反弹道导弹协会 宇航 A/C 飞机（也称为 acft.） AIC 空中拦截控制 AC 交流电 AIM 空中拦截导弹 ACA 联合承包商协议或 AIRLANT 美国海军航空兵司令，空域协调区 大西洋舰队 ACAT 采购类别 AIRPAC 美国海军航空兵司令，ACCB 飞机配置控制委员会 太平洋舰队 Acft 飞机（也称为 A/C） AJ 抗干扰或抗干扰 ACLS 航空母舰着陆系统 A-Kit 系统的飞机接线套件 ACM 先进巡航导弹或空中（包括电缆、机架等，但不包括作战机动 WRA） ACQ 采购 AM 幅度调制 ACS 天线耦合器组 AMD 飞机维修部 ACTD 先进概念技术 AMES 先进多环境演示模拟器 A/D 模拟到数字 AMLV 先进存储器加载器/验证器 Ada 不是首字母缩略词。Ada 是 DoD Amp 放大器标准编程语言。 AMRAAM 先进、中程、空对空 ADM 先进开发模型导弹 ADP 自动数据处理或 ANSI 美国国家标准协会先进开发计划 ANT 天线 ADVCAP 先进能力 A 作战可用性 AEC 航空电子战（陆军） AO 声光 AEGIS 自动电子制导拦截 AOA 到达角、攻角或替代方案系统分析（类似于 AEL 可访问发射限值 COEA） AEW 机载预警 AOC 老乌鸦协会（专业 AF 天线因子、空军或音频 EW 协会）或合同授予 频率 AOT 仅角度跟踪、尾部角度或 AFB 空军基地或机身公告 目标捕获 AFC 自动频率控制或 APC 安费诺精密连接器或机身更换 装甲运兵车