XiaoMi-AI文件搜索系统
World File Search SystemLoughborough
光学表面形貌测量仪器传递函数的确定 M R Foreman、C L Giusca 和 R K Leach，工程测量部国家物理实验室 J M Coupland Wolfson 机械与制造工程学院拉夫堡大学 2012 年 7 月
市场上有大量基于光学技术的区域表面形貌测量仪器。然而，由于缺乏对光与元件表面之间复杂相互作用的理解，将光学仪器投入生产存在问题 - 研究仪器的光学传递函数可以帮助解决这个问题。本报告的目的是回顾光学传递函数测量技术。从空间相干单色共焦扫描成像系统的基础出发，介绍了三维 (3D) 成像中的光学传递函数理论。进一步的概括被回顾，允许将该理论扩展到描述传统和干涉 3D 成像系统，在一系列空间相干性上。还简要考虑了多色传递函数。进一步专门研究表面形貌的测量。在介绍理论结果之后，介绍了测量每类系统光学传递函数的实验方法，重点介绍了在 3D 成像和表面形貌测量中建立校准标准的合适方法。