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纳米座和微瘤的影响对激光处理的铜表面的二级电子产率和电阻
激光表面结构是一种有效的技术，用于在统一接近或低于统一的铜表面具有二级电子产量（SEY）值。然而，最小化SEY的属性，例如中度深凹槽和重新沉积的纳米颗粒，可能导致不良后果，包括增加射频表面电阻。这项研究系统地检查了有关旨在消除重置吸附的颗粒的不同清洁程序的数据。连续清洁步骤后迭代使用各种分析技术，从而提供了对不断发展的表面特征的见解。收集的实验结果确定了微沟，凹槽方向以及相关颗粒对次级电子产率和表面电阻的明显影响。在凹槽中保持高颗粒物覆盖范围的同时露出波峰会导致SEY值和表面电阻的降低，这表明凹槽的尖端对表面电流密度的影响比凹槽深度更为重要。同时，凹槽中的纳米颗粒对SEY值具有比表面暴露的尖端更重要的影响。
