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基于纳米材料的微/纳米机电系统（MEMS和NEMS）设备
摘要：基于二维（2D）材料的微型和纳米机电系统（MEMS和NEMS）设备与硅基碱对应物相比揭示了新型功能和更高的灵敏度。2D材料的独特性能增强了对2D材料基于纳米机电设备和传感的需求。在过去的几十年中，使用与MEMS和NEMS集成的悬浮2D膜出现了质量和气体传感器，加速度计，压力传感器和麦克风的高性能敏感性。通过MEMS/NEMS传感器提供了积极感测的微小变化，例如在动量，温度和应变的小小变化的被动模式下传感。在这篇综述中，我们讨论了NEM和MEMS设备中使用的2D材料的材料准备方法，电子，光学和机械性能，除了设备操作原理外，制造路线。
