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博士Yevgeny Raitses
Yevgeny Raitses Princton等离子体物理实验室电子束产生的等离子体及其应用 - 从材料进程到太空推进，对微型等离子体（E-Beam）产生的低温等离子体（LTP）的兴趣越来越兴趣，用于在原子尺度上用于原子质尺度的微电量表和量子系统。对于这些应用，血浆（[E] 〜10 9 -10 12 cm -3，t e〜0.1-10 eV通常是通过将能量（10 2 - 10 4 eV）E -Beam注入低压（10 -1 -1 -10 2 MTORR）沿施加磁场（10-10 3 Gauss）的低压（10 -1 -1 -10 2 mtorr）。B场有助于局限于通过反应器传播的e-束。跨B场的施加电场可以控制离子通量到等离子体外围的底物（WAFER）。具有交叉电和磁场（EXB）场的电子束等离子源可以选择性地产生离子和反应性物种，而低能颗粒的均匀通量则可以使其对材料的低破坏处理有吸引力。由于电子束在亚米压力下有效地将分子气体电离，因此最近在非常低的地球轨道（70-200 km）下为空气呼吸质量推进器进行了生动。在本演讲中，我将回顾电子束发电LTP系统及其应用的概念。i将概述关键等离子体过程，包括等离子体的产生，跨场扩散和梁血压相互作用。我将讨论控制电子束产生的EXB等离子体中电子和离子的特征不稳定性，通量和能量分布功能的挑战。