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先进的 Isolast® 功能 - 创新设计的 FFKM 解决方案
ISOLAST® PUREFAB™ 半导体材料 Isolast® Purefab™ 系列包括符合半导体行业要求的尖端全氟橡胶 (FFKM)。特殊配方的化合物针对不同的操作参数进行了优化，包括高温稳定性、纯度、极低的痕量金属含量和出色的等离子体抗性。这减少了高真空条件下的颗粒生成和排气，使最终用户能够延长产品维护周期并确保工艺产量最大化。