© 2021 通用电气公司。通用电气专有信息 - 本文件包含通用电气公司 (GE) 专有信息。 * SEAJET 是通用电气公司的商标 † 7.5 MW 和 15 MW SEAJET* POD 技术归 AETC Sapphire(通用电气和俄罗斯石油公司的合资企业)所有,并授权给通用电气。它是通用电气的财产,未经通用电气明确书面同意不得使用、向他人披露或复制,包括但不限于在创建、制造、开发或衍生任何维修、改装、备件或配置更改或获得政府或监管机构批准的情况下,如果同意全部或部分复制,则本通知和本文件每页上列出的通知应出现在任何此类复制品中,无论是全部还是部分。本文件中包含的信息也可能受美国出口管制法律的管制。禁止未经授权的出口或再出口。本演示文稿及其所含信息仅供参考,如有更改,恕不另行通知。对于其完整性、准确性或针对任何特定用途的适用性,不作任何明示或暗示的陈述或保证。除非另有说明,所有相关陈述均与 GE 技术有关。
图 1.1 MEMS 设备示例 – a) 附有 FPC 和打印头单元的 SeaJet 喷墨打印机芯片 [2];b) Analog Devices 加速度计;c) Accutire 压力传感器;d) Motorola 气体传感器;e) 100 像素红外传感器阵列 [3]