微电子与纳米技术 Shamsuddin 研究中心 (MiNT-SRC) 是马来西亚敦胡先翁大学 (UTHM) 综合工程学院 (IIE) 下属的五个卓越中心 (CoE) 之一。该研究中心成立于 2006 年 11 月 27 日,前身为微电子与纳米技术中心 (MiNTEC),2007 年 11 月 25 日升级为研究卓越中心。MiNT-SRC 以 UTHM 董事会主席 Y.Bhg. Tan Sri Dato' Seri Ir Shamsuddin bin Abdul Kadir 的名字命名,以纪念他对 UTHM (2007-2009) 的贡献。MiNT-SRC 的目标是成为马来西亚南部微电子和纳米技术领域的领先研究中心。该研究中心由副教授 Marlia Morsin 博士领导,她从事基于纳米材料的传感器、真菌治疗和媒介控制领域的研究。此外,还有6名来自不同领域的首席研究人员,分别是Nafarizal Nayan教授(纳米等离子体处理和诊断)、Mohd Khairul Ahmad教授(纳米结构材料)、Soon Chin Fhong副教授(生物纳米技术、生物工程和物联网)、Fariza Mohamad副教授(使用电沉积的同质和异质结薄膜)、Farhanahani Mahmud副教授(医疗电子、嵌入式系统和人工智能)和Nur Hanis Hayati Hairom副教授(纳米技术、膜技术和废水处理)。这七位核心研究人员构成了MiNT-SRC研究进步的骨干。
微电子与纳米技术 - Shamsuddin 研究中心 (MiNT-SRC)、马来西亚敦胡先翁大学综合工程学院,86400 Parit Raja,
心脏病是世界各地死亡的最大原因。心脏声音的诊断是诊断(1)的心脏病的有效方法。使用计算机技术自动听诊节省了医生的时间和工作。许多论文使用几种方法讨论了对心脏声音的分析和识别。Shamsuddin N等。(2005)(2)使用muntilayer feed向前神经网络进行分类心脏声音。他们获得了11种心脏病的正确分类的100%。Garzon JJ等人(2008)(3)使用支持向量回归来检测杂音。他们获得了正常和病理心动图(PCG)信号精度的97.85%。Maglogiannisa I和HisColleagues(2009)(4)使用小波和SVM对心脏声音进行分类。Yana Z等。 al。 (2010)(5)Yana Z等。al。(2010)(5)
激光技术在关键部门中的应用:军事和医疗苏拉顿纳菲萨1,Zarina tukiran 2.3*,Lau Wei Sheng 3,Siti Nabilah Rohim 3,Siti Nabilah Rohim 3,Vincent Sia Ing Teck 3,Nur Liyana Razali 2.3微电学和纳米技术 - 苏努斯丁研究中心,综合工程研究所,马来西亚36400年,马来西亚,马来西亚36400,马来西亚36400,马来西亚36400,马来西亚36400,马来西亚36400马来西亚 *通讯作者doi:https://doi.org/10.30880/jeva.2021.02.01.005 2021年3月29日收到; 2021年5月23日接受; 2021年6月30日在线上
青年论坛参与者:Abbas I. Babayev、Ann-Dean Cooper、Anna Mitrofanova、Anna Shenia Hauptmann、Asedria Simoes Ruck、Bat-Anujin Tumurkhuyag、Chethmi Wijewardana、Christopher Misael Agreda Díaz、Curtis Mark、Desislava Pehlivanova、Egorov Kirill、Erkin Özgür、Haitham Ajjeh、Hasting Blowdy、Heather d'Alessio、Henna Siiki、Ivana Todorova、Javier Andrés Chinchilla Padilla、Javier Ng Jing Xuan、Joanne Lunkuse、Juan David SEFAIR MELO、Katarína Saparová、Khalid Shaya M. ALQAHTANI、Lisa Holmås、Lucija Blazan、Mahathir Shamsuddin、Matúš Marec、Maximilian Granser、Megan Cungu、Merve Yetistirici、Michael Schädler、Nicolas Marx、Nidal Oudainia、Pimenova Alexandra Igorevna、Sagar Singh Grewal、Valeryja Polyakova、万新阳、王子晓、万新阳、Yana Zakharyants、Yomna Ahmed Abdel Fattah El Dib、Zeno Roscam Abbing 和王子晓。
青年论坛参与者:Abbas I. Babayev、Ann-Dean Cooper、Anna Mitrofanova、Anna Shenia Hauptmann、Asedria Simoes Ruck、Bat-Anujin Tumurkhuyag、Chethmi Wijewardana、Christopher Misael Agreda Díaz、Curtis Mark、Desislava Pehlivanova、Egorov Kirill、Erkin Özgür、Haitham Ajjeh、Hasting Blowdy、Heather d'Alessio、Henna Siiki、Ivana Todorova、Javier Andrés Chinchilla Padilla、Javier Ng Jing Xuan、Joanne Lunkuse、Juan David SEFAIR MELO、Katarína Saparová、Khalid Shaya M. ALQAHTANI、Lisa Holmås、Lucija Blazan、Mahathir Shamsuddin、Matúš Marec、Maximilian Granser、Megan Cungu、Merve Yetistirici、Michael Schädler、Nicolas Marx、Nidal Oudainia、Pimenova Alexandra Igorevna、Sagar Singh Grewal、Valeryja Polyakova、万新阳、王子晓、万新阳、Yana Zakharyants、Yomna Ahmed Abdel Fattah El Dib、Zeno Roscam Abbing 和王子晓。
1纳米 - 电子中心(NET),电气工程学院,工程学院,Universiti teknologi Mara,40450 Shah Alam,马来西亚2号雪兰莪2号电气工程学院,工程学院,Teknologi teknologi Mara,Terengganu Mara,Terengun Branch,Dungun Campus,23000 Dungun funcation and nenne nanne nanne nensia,纳米技术,科学研究所(IOS),Universiti teknologi Mara,40450 Shah Alam,雪兰莪,马来西亚4电气和电子工程技术学院,马来西亚大学马来西亚大学,Hang tuah jaya,MALASKA,MELARESIA,MARARESIA INDERCENIOL,MALAKE MARANOMIAL INCERATION,MALARESIA INDERCTION,MARASIINOLIOG马来西亚槟城的Atang Pauh 6马来西亚Sabah大学工程学院,88400 Kota Kinabalu,马来西亚Sabah,马来西亚Sabah 7应用科学学院,Universiti Teknologi Mara,40450 Shah Alam,Shah Alam,Selangor,Selangor,Malaysia 8 Physemia and Malaysia school and Malaysia school and Malaysia school and Malaysia cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres cres abdur,印度钦奈 Vandalur 科学技术研究所 600 048 9 马来西亚苏丹依德里斯教育大学科学与数学学院纳米技术研究中心 35900 丹戎马林 10 马来西亚敦胡先翁大学电气与电子工程学院微电子与纳米技术 - Shamsuddin 研究中心
使用 SF 6 和 CHF 3 气体的工艺 Muhammad Hidayat Mohd Noor 1 , Nafarizal Nayan 1,2 * 1 电气和电子工程学院 (FKEE), Universiti Tun Hussein Onn Malaysia, 86400, Batu Pahat, Johor, MALAYSIA 2 微电子和纳米技术 - Shamsuddin 研究中心 (MiNT-SRC), Universiti Tun Hussein Onn Malaysia, 86400, Batu Pahat, Johor, MALAYSIA *通讯作者指定 DOI:https://doi.org/10.30880/eeee.2022.03.02.010 2022 年 6 月 27 日收稿; 2022 年 7 月 24 日接受; 2022 年 10 月 31 日在线提供摘要:反应离子刻蚀 (RIE) 是一种用于微加工的刻蚀技术,也是干法刻蚀的方法之一,与湿法刻蚀相比具有不同的特性。RIE 中的反应等离子体的化学过程用于去除晶圆上沉积的材料。RIE 蚀刻机有几个可变因素,例如射频功率、压力、气体流速和蚀刻时间,这些因素对应于其蚀刻深度和蚀刻速率的输出参数。需要进行大量实验才能找到 RIE 的最佳设置,从而为输出蚀刻速率建立理想的条件。在本研究中,使用供给 RIE 系统的 SF 6 和 CHF 3 工艺气体对 Si 和 SiO 2 晶圆进行蚀刻。使用 Dektak XT Bruker 表面轮廓仪研究了蚀刻深度和蚀刻速率,并使用 3D 映射模式表征了蚀刻后的 Si 和 SiO 2 的表面粗糙度。结果显示了不同射频功率、时间和流速对蚀刻深度和速率的影响,从而可以选择最佳参数。关键词:反应离子蚀刻、RIE、等离子蚀刻、硅、二氧化硅
HM Delwar Hussain,主任,Md.莫菲祖尔·拉赫曼·汗·乔杜里 (Mofizur Rahman Khan Chowdhury),董事,Md. Abul Kalam Azad,主任 Kaniz Fatema Dipankar Bhattacharjee,主任 Kakoli Jahan Ahmed,主任 SM Salim Uddin,主任 Md. Shabbirul Alam Chowdhury,主任,Md. Mazbah Uddin,主任 Mamunur Rahman,主任 Mohammad Shamsuddin Ahmed,主任 Mohammad Abul Hashem,主任 Nahid Rahman,主任 SM Kamaluzzaman Kamal,主任 Dipti Rani Hazra,主任 Md. Golam Moula,主任,Md. Golzare Nabi,主任医师Sakhawat Hossain,主任 Chandan Saha,主任 Md. Monjurul Haque,主任,Md. Rafiqul Islam,主任,Md. Arifuzzaman,主任,Md. Sayedur Rahman Khan,董事,Md. Ali Akbar Faraji,董事,Md. Harun Ar Rashid,主任,Md. Ibrahim Bhuiyan,主任 Rokeya Khatun,主任 Dr. Imam Abu Sayed,主任 Shafayet Arefin,主任 Md. Tafazzal Hossain,董事 Sudhangshu Kumar Sarker,董事 Manoj Kumar Howlader,董事 Md. Anis Ur Rahman,主任 Khondaker Siddiqur Rahman,主任 Abu Saleh Mohammad Shahab Uddin,主任 Md.莫萨拉夫·侯赛因 (Mosarraf Hossain),主任,Md. Abul Bashar,主任 Khaled Mahbub Morshed,主任 Md. Khasru Parvez,主任,Md. Enamul Karim Khan,董事,Md. Obaid Ullah Chowdhury,主任,Md. Rafiqul Islam,主任 Saeda Khanam,主任 Md. Muksuduzzaman,主任 Khaled Ahmed,主任 Md. Amir Uddin,主任,Md. Hafizur Rahman,董事 Arief Hossain Khan,董事 Md. Zabdul Islam,主任 Istequemal Hussain,主任 Md. Liakat Ali Molla,董事,Md. Rajab Ali,主任,Md.纳兹鲁尔·伊斯兰 (Nazrul Islam) 博士,主任马里兰州Sirajul Hoque,董事 AKM Kamruzzaman,董事