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World File Search System低温度
超低温度LA2O3/ ... div>的实验研究
在本文中，提出了一个LA 2 O 3 /HFO 2双层偶极 - 偶极 - 第一（DF）工艺，并通过超低温度PVD PVD介电层压板进行了研究，以实现较低的栅极有效工作功能（EWF），以实现整体岩石3D-IC（M3D）应用。全面研究了超低温度LA-偶极子对EWF调制和界面特性的影响。发现平移电压（V FB）用较低的1nm La 2 O 3厚度呈60 mV，这提供了满足SI传导带边缘EWF调制的有效方法。此外，LA 2 O 3 /HFO 2 BI-LAYER DF工艺抑制了电子陷阱 /逐渐陷阱密度（非）和界面陷阱密度（DIT），以提高设备性能。这些结果在低热整合中表现出有希望的双层DF工艺，用于高级IC技术。
最低温度测量值 - 量子设计
Low vibration level and the positional drift Temperature range from ~3.5 K to 475 K (optional: 8 K to 650 K) (depending on probes) Works either with liquid nitrogen or liquid helium Helium consumption less than 1 L/h Accommodates up to 2 in (51 mm) diameter wafers (optional: up to 8 in [203 mm]) Up to seven cooled, easily interchangeable, micro-manipulated probe手臂电气测量从DC到67 GHz的各种廉价的LF探针尖端易于替换非常低的三轴探针泄漏电流，仅几个FA非接触式，无损坏的开尔文探针多尖端探针通过单台和多模式Fiber formations进行了启用，以示例型号的启用型号，以示例型号探测器，并探测型号的多模式探测器。微型真空室从杂物盒中传递真空下的样品到探测站非常光滑的X-Y-Z旅行阶段，用于所有单镜系统组件的可选移动样品架系统自定义选项