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功率器件 | 提高生产率和产量
在背面金属化之前，晶圆会被减薄，因为基板是设备的功能部分。300 毫米/12 英寸晶圆要么减薄到约 200 微米厚，要么遵循所谓的 Taiko 晶圆研磨原理。在后一种情况下，硅晶圆由一个外部 Taiko 环和减薄的硅膜组成。对于 300 毫米/12 英寸晶圆，该膜会根据设备电压等级减薄到 60、90 或 120 微米。薄基板的热容量低，因此需要严格控制工艺温度。沉积过程中的温度对固有薄膜应力有显著影响。为了最大限度地减少晶圆弯曲，必须最大限度地减少金属层堆栈引入的应力。CLUSTERLINE® 采用特殊的卡盘设计，可控制晶圆温度而不会损坏正面。在标准应用中，使用凹陷卡盘配置。在这种经典设计中，晶圆在沉积过程中位于外环上，从而防止与设备表面接触。然而，尽管凹陷式卡盘是一种经济高效的解决方案，但由于缺乏主动卡盘，热耦合受到限制。因此，对于需要更严格温度控制的应用，独特的 BSM-ESC（用于背面金属化的静电卡盘）是首选。
3/8 英寸电钻驱动器套件 12 伏 XRP 1/2 英寸电钻/驱动器...
• 强大的 Lok-Tor™ 系列 18 伏电机可产生 495 英寸/磅的扭矩。最大扭矩 • 可逆电池组适合狭小空间 • 带制动器的变速开关 • 两种速度范围：1-500/0-1700 RPM • 18 伏 2.4 安培/小时。Power Plus 电池与其他 Milwaukee 18 伏产品兼容 • 1/2 英寸全金属 Grip-lok ® 无钥匙卡盘，极其耐用 • 锤击动作可产生高达 25,500 BPM 的速度 • Power Plus 在一小时内为电池充电 • 包括全金属卡盘、两个 2.4 安培/小时。电池组、充电器和抗冲击手提箱
MIMOS共享服务实验室 - MIMOS Berhad
• 4072 自动参数测试系统 • Agilent 4072A 高级直流自动参数测试仪，配备 4 个源测量单元 (SMU) 和 48 针开关矩阵 • 测试仪可直接对接至 Electroglas 4090μ 全自动探测器 • 4073 自动参数测试系统 • Agilent 4073A 超高级直流自动参数测试仪，配备 8 个源测量单元 (SMU)、48 针开关矩阵和 1fA 低电流测量功能 • 测试仪可直接对接至具有 150°C 热卡盘功能的 Accretech UF200 全自动探测器 • 4082A 自动参数测试系统 • Agilent 4082A 高级直流自动参数测试仪，配备 4 个源测量单元 (SMU)、38 针开关矩阵和高吞吐量测试 • 测试仪可直接对接至具有 150°C 热卡盘和150μm薄晶圆能力
标准机器“基本” 传统机器“基本”
技术数据/技术特性 PF 41 ES Max。工作宽度/有用加工宽度 410 毫米 最大。库存清除/最大木材夹持 8 毫米刀架直径/压刨轴直径 95 毫米号刀具数量 4 主轴转速 RPM 刨床轴转速 tr/mn 5000 工作台长度 刨床工作台总长度 2200 mm 倾斜护栏尺寸 90°-45° / 刨床导轨可倾斜90°÷45° 1200 x 160 毫米 50/60 赫兹时的电机功率 (HP) (S6) / 50/60 赫兹时的电机功率 (CV) (S6) 5 千瓦 (6.6)/ 6 千瓦 (8 ) 吸力吸风罩直径 / 吸嘴直径 1 x Ø 120 mm 吸风速度 / 吸风速度 20 m/sec 空气消耗量 / 吸风消耗量 814 m³/h 主机净重 / 主机净重 411 Kg 设备 / 设备 翻转- 覆盖薄栅栏工件/用于薄工件的附加可伸缩导轨 • 铸铁开槽机/铸铁开槽机 • 带夹具的卡盘 5-10-16 毫米/带夹具的曼德林 5-10-16 毫米 • 自定心韦斯科特型卡盘 0-16 毫米/曼德林自定心 0-16 毫米（韦斯科特）• 带 4 把刀的“Tersa”刀架 / 带 4 把刀的 TERSA 型刨床主轴 • 带刀的螺旋主轴 / 带刀的螺旋主轴 • 桥式刨床保护装置 / 桥式刨床主轴保护装置 •
标准机器“基础版” 传统机器“基础版”
技术数据/技术特性 PF 41 ES Max。工作宽度/有用加工宽度 410 毫米 最大。切削量/最大进木量 8 mm 刀架直径/刨床主轴直径 95 mm 刀具数量/刀具数量 4 主轴转速 RPM/刨床主轴转速 tr/mn 5000 工作台长度/刨床工作台总长度 2200 mm 90°-45°倾斜挡板尺寸/刨床挡板倾斜90°÷45° 1200 x 160 mm 50/60 Hz时电机功率(HP) (S6)/50/60 Hz时电机功率(CV) (S6) 5 kW (6,6)/ 6 kW (8) 吸风罩直径/吸风直径 1 x Ø 120 mm 吸风速度/吸风速度 20 m/sec 空气消耗量/吸风消耗量 814 m³/h 基本机器净重/机器净重底座 411 公斤 设备 / 设备 用于薄工件的翻转栅栏 / 用于薄工件的附加伸缩导轨 • 铸铁开槽榫眼机 / Mortaiseuse en fonte • 带夹具的卡盘 5-10-16 毫米 / 带夹头的芯轴 5-10-16 毫米 • 自定心 Wescott 型卡盘 0-16 毫米 / 带自动定心芯轴 0-16 毫米（Wescott） • 带 4 把刀的“Tersa”铣刀块 / TERSA 型带 4 把刀的松木 • 带刀的螺旋主轴 / 带刀的螺旋轴 • 桥式刨床防护装置 / 松木桥防护装置 •
标准机器“基础版” 传统机器“基础版”
技术数据/技术特性 PF 41 ES Max。工作宽度/有用加工宽度 410 毫米 最大。切削量/最大进木量 8 mm 刀架直径/刨床主轴直径 95 mm 刀具数量/刀具数量 4 主轴转速 RPM/刨床主轴转速 tr/mn 5000 工作台长度/刨床工作台总长度 2200 mm 90°-45°倾斜挡板尺寸/刨床挡板倾斜90°÷45° 1200 x 160 mm 50/60 Hz时电机功率(HP) (S6)/50/60 Hz时电机功率(CV) (S6) 5 kW (6,6)/ 6 kW (8) 吸风罩直径/吸风直径 1 x Ø 120 mm 吸风速度/吸风速度 20 m/sec 空气消耗量/吸风消耗量 814 m³/h 基本机器净重/机器净重底座 411 公斤 设备 / 设备 用于薄工件的翻转栅栏 / 用于薄工件的附加伸缩导轨 • 铸铁开槽榫眼机 / Mortaiseuse en fonte • 带夹具的卡盘 5-10-16 毫米 / 带夹头的芯轴 5-10-16 毫米 • 自定心 Wescott 型卡盘 0-16 毫米 / 带自动定心芯轴 0-16 毫米（Wescott） • 带 4 把刀的“Tersa”铣刀块 / TERSA 型带 4 把刀的松木 • 带刀的螺旋主轴 / 带刀的螺旋轴 • 桥式刨床防护装置 / 松木桥防护装置 •
标准机器“基础版” 传统机器“基础版”
技术数据/技术特性 PF 41 ES Max。工作宽度/有用加工宽度 410 毫米 最大。切削量/最大进木量 8 mm 刀架直径/刨床主轴直径 95 mm 刀具数量/刀具数量 4 主轴转速 RPM/刨床主轴转速 tr/mn 5000 工作台长度/刨床工作台总长度 2200 mm 90°-45°倾斜挡板尺寸/刨床挡板倾斜90°÷45° 1200 x 160 mm 50/60 Hz时电机功率(HP) (S6)/50/60 Hz时电机功率(CV) (S6) 5 kW (6,6)/ 6 kW (8) 吸风罩直径/吸风直径 1 x Ø 120 mm 吸风速度/吸风速度 20 m/sec 空气消耗量/吸风消耗量 814 m³/h 基本机器净重/机器净重底座 411 公斤 设备 / 设备 用于薄工件的翻转栅栏 / 用于薄工件的附加伸缩导轨 • 铸铁开槽榫眼机 / Mortaiseuse en fonte • 带夹具的卡盘 5-10-16 毫米 / 带夹头的芯轴 5-10-16 毫米 • 自定心 Wescott 型卡盘 0-16 毫米 / 带自动定心芯轴 0-16 毫米（Wescott） • 带 4 把刀的“Tersa”铣刀块 / TERSA 型带 4 把刀的松木 • 带刀的螺旋主轴 / 带刀的螺旋轴 • 桥式刨床防护装置 / 松木桥防护装置 •
