A.Loukkal 1*、M.Lematre 1、M.Bavencoffe 1、M.Lethiecq 1 1 GREMAN UMR 7347,图尔大学,INSA Centre Val de Loire,3 rue de la Chocolaterie,布卢瓦,法国 abderrahmane.loukkal@univ-tours.fr 摘要 微电子行业对于开发用于多层结构健康控制和诊断的无损工具和方法的需求日益增加。这些工具的目的是检测诸如分层、夹杂和微裂纹等问题。本文的目的是研究不完美界面对多层结构中波传播的影响。这种结构类型代表了许多微电子元件的典型架构。这项研究将基于反射系数和导波色散曲线的计算。所研究的结构是各向同性的三层,其中两个金属层通过环氧树脂制成的粘合层粘合在一起。进行了比较,以便从数字上评估粘合层的几种特性对导波行为的影响。此外,还实施了不完美粘弹性界面层模型 [1],以模拟金属层之间的不同粘附质量。关键词:反射系数;多层;不完美界面;导波;色散曲线;V(z,f) 方法;建模。