UV-KUB 3 是基于掩模对准系统的 UV-LED,可用光源为 365nm。这是一款非常紧凑的台式系统,可兼容 4 英寸晶圆或 6 英寸晶圆(具体取决于版本)。由于特定的光学布置提供了最大发散角小于 2° 的准直光束,因此可实现的最小特征尺寸为 1µm。UV-KUB 3 系统兼容硬(物理)或软(接近)掩模接触模式,并提供低至 1µm 的对准分辨率。该掩模对准系统支持所有标准光刻胶,例如 AZ、Shipley、SU-8 和 K-CL。
由于激光辐射的相干特性和低发散角,即使相对少量的暴露也会导致眼睛或皮肤永久或严重的伤害。因此,遵循本手册中详细的指导原则以及激光安全法规非常重要。iFLEX-iRIS™ 系列激光器可以发射 UV-A、可见光或近红外波长带,波长范围从 375nm 到 852nm。激光器具有一系列不同的输出功率水平,具体取决于选择的变体(请参阅第 2 节)。根据 IEC 60825-1:2014,iFLEX-iRIS™ 激光器被归类为 3B 类。在操作激光器之前,请确保您熟悉特定型号的安全法规。不同国家的安全法规各不相同;确保 iFLEX-iRIS™ 的安装和操作符合当地法规。
摘要 - 我们建议使用光子晶体表面发射激光器(PC-SELS)提出并演示自由空间光学(FSO)。与其他类型的常规半导体激光器不同,例如伸向边缘激光器(EEL)和垂直腔表面发射激光器(VCSEL),PCSELS,PCSELS在同一时间内实现了更大的区域单模式相干激光,并且这种独特的功能具有高功率(> WATT)和无镜头的操作。迄今为止,这些优点已被认为正在改变游戏,尤其是在光检测和范围(LIDAR)和激光处理应用程序中。在这项工作中,我们表明FSO通信也可以从PCSEL的这些优势中受益;更具体地,包括低功率半导体激光器,光学镜头和基于纤维的放大器的传统发射器可以用单个PCSEL代替。由于纤维放大器通常由笨重的组件组成,并且转化率较低,因此PCSEL可以提供更多的空间和节能解决方案。此外,直接从大区块单模PCSEL获得的窄光束发散角还可以消除发射机侧透镜系统的需求。为了实验验证这些潜在的优势,我们根据PCSELS进行了FSO传输实验,并使用500- m PCSEL在1.1 m上成功传输了480-MHz和864-MHz正交频次频施加频型(OFDM)信号(OFDM)信号。我们认为,PCSEL在FSO通信中打开了新的可能性和选择。