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World File Search System吹扫
无热加热吹扫风机吹扫模块化
为了去除和排出液体、气溶胶和雾气，未经处理的压缩空气流首先通过 0.01PPM 抛光预过滤器。然后将过滤后的压缩空气向上引导通过两个装有专门设计的净化滤芯的腔室之一。每个滤芯包含一个高性能干燥剂床和一个颗粒后过滤器。干燥剂材料吸附剩余的水蒸气，整体后过滤器通过收集任何剩余的颗粒物完成该过程。然后，压缩空气作为清洁、干燥的公用设施输送到分配系统或使用点。
PEDI 罐的氮气吹扫 - ResinTech
为了尽量减少微生物活动的形成，应遵循几个程序。一些 PEDI 工厂每次进行再生时都会用稀氯溶液冲洗所有便携式罐体部件（罐体、头部、连接器等）。处理这些物品的所有人员还必须小心，不要用脏手或其他设备污染设备。每次进行再生时，离子交换树脂本身都会通过暴露于酸性或碱性 pH 极端值而经历有效的“生物杀灭”。当然，PEDI 工厂必须得到妥善维护并尽可能保持清洁。有些工厂会定期用稀氯溶液清洗再生罐和管道，以尽量减少微污染源。
BP 系列鼓风机吹扫干燥剂压缩空气干燥机
过滤后的压缩空气通过阀门 A 进入在线干燥剂填充的干燥塔 1。上流干燥使干燥剂能够从气流中去除水分。清洁、干燥的压缩空气通过 E 排出，供给空气系统。塔 2 上的阀门 B 关闭，通过消声器将空气减压到大气中。阀门 D 和 F 打开，加热器打开。高效鼓风机吸入环境空气并将其送入加热器。环境气流通过阀门 F 并向下流过塔 2 中的潮湿干燥剂，在离开阀门 D 之前收集水蒸气。一旦干燥剂完全解吸，加热器就会关闭。阀门 D 关闭，塔 2 重新加压。一旦能源管理系统控制器确定塔 1 已完全饱和，阀门 B 将打开，塔 2 将在线干燥气流，阀门 A 将关闭。操作将切换，塔 1 将再生。
通过控制吹扫时间的缺陷同时增强 ALD ZnO 薄膜的电导率并抑制热导率
我们展示了如何同时控制 ZnO 薄膜的电和热传输特性，该薄膜是通过原型原子层沉积 (ALD) 工艺从二乙基锌 (DEZ) 和水前体制备的。关键的 ALD 工艺参数是在 DEZ 前体脉冲之后施加的 N 2 吹扫时间。我们利用 X 射线反射率测量来表征薄膜的生长特性，利用光致发光光谱来表征结构缺陷，利用电传输测量来表征载流子密度、电阻率和塞贝克系数，利用时域热反射测量来表征热导率。光致发光光谱数据表明，延长吹扫时间会产生结构缺陷，从而增加电子载流子密度；这可以解释薄膜电导率增强的原因。同时，缺陷可能会阻碍薄膜中的热传输。因此，实现电导率的同时增加和热导率的降低对热电学至关重要。此外，在光学和微电子领域中，人们非常希望对半导体 ZnO 薄膜的本征电传输特性进行简单的控制。
Hankison HHL 和 HHS 系列无热除湿干燥机
例如，在 50% 的负载下，塔能够保持在线 10 分钟（而不是通常的 5 分钟），而在 33% 的负载下，它能够保持在线 15 分钟。通过这样做，吹扫空气的使用与系统的需求相匹配 - 在 50% 的负载下，使用 50% 的正常吹扫空气；在 33% 的负载下，使用 33% 的正常吹扫空气。Hankison 的专利 Sensatherm ® 吹扫节约系统通过监测干燥剂床内的温度变化，使吹扫空气的使用与干燥机的需求相匹配。这些变化是干燥阶段释放的热量（吸附热）和再生阶段重新吸附的结果。温度变化程度是压缩空气系统中水蒸气含量的间接测量值，用于确定塔在干燥阶段保持在线的时间。
新型光罩防雾解决方案
吹扫气体的选择也是此解决方案的重要组成部分。根据与领先的曝光工具 OEM 合作保护扫描仪光学元件的经验，Entegris 已测试并确定了一种行之有效的吹扫气体源，以最大限度地降低和消除光刻工艺的风险。吹扫气体系统已获批准，可与这些相同曝光工具中的透镜组件一起使用。此外，高光学纯度对光罩的数值孔径没有影响。这种吹扫气体源对操作员也更安全，并提供最低的运营成本。Clarilite 系统使用的气体是 Entegris 的极度洁净干燥空气 (XCDA ® )。
AUTO-PURGER® M“节能器” ...
当制冷系统中的不凝性气体含量正常时，应将清洗器设置为自动操作模式。APM 的微处理器电子设备使用其“逻辑”来定位不凝性气体并花费更多时间清洗这些点。清洗器将给第一个启用的清洗点电磁阀通电（参见第 7 页，清洗点启用开关）。如果 10 分钟后不释放不凝性气体，则清洗器将前进到下一个启用的清洗点。如果在前 10 分钟内在任何清洗点释放不凝性气体，则清洗器将继续处理气体并保持在该清洗点 10 分钟，只要在这 10 分钟的时间段内释放不凝性气体。此“智能”功能最多可持续 30 分钟。30 分钟后，无论是否释放不凝性气体，清洗器都将进入下一个活动清洗点。一旦非冷凝性气体被最小化，并且所有启用的吹扫点循环而不释放非冷凝性气体，吹扫器将进入“待机”模式两小时（待机吹扫器状态灯将亮起），并且不会通电任何吹扫点电磁阀。待机两小时后，吹扫器将恢复运行，以找出可能已收集的非冷凝性气体。
Sullair 再生干燥剂干燥机 3 至 12,000 SCFM ...
清洁干燥的压缩空气 Sullair SDE 外部加热再活化干燥剂空气干燥器使用高品质活性氧化铝干燥剂床从压缩空气中吸附水分，提供低至 -40°F（标准）或 -100°F（可选）的持续露点。当一个塔干燥空气时，另一个塔使用加热的干燥空气进行再生，将吹扫要求降低至干燥器额定流量的 7%。Sullair SDB 鼓风机吹扫干燥剂空气干燥器使用高品质活性氧化铝干燥剂床从压缩空气中吸附水分，提供低至 -40°F（标准）或 - 65°F（可选）的持续露点。当一个塔干燥空气时，另一个塔通过外部鼓风机使用加热的环境空气进行再生，将吹扫要求降低至仅 2-3%（时间平均值）。
