1.0简介卫星通信是一项有前途的技术,因为它能够为大量具有高数据速率服务的用户服务。尽管光纤链接大量部署,但由于其固有的长距离通信的固有优势,卫星通信技术被认为占主导地位行业(Jayadev,2011年)。更高容量卫星链路的用户需求的几何增加激发了卫星操作员以更高频段(例如KA波段及以上)操作以适应必要的数据速率(Leshan等人。,2016年)。移动到这些较高频段采用了通信系统设计,这些设计需要在发射器和接收器之间开发链路预算。这些设计在接收器的解调器上提供了足够的信号水平,以达到所需的性能和可用性水平(Pratt等,2003)。可以使用位错误率(BER)和载波(C/N)比率评估链接的卫星系统性能。成功设计沟通链接涉及许多因素,例如各种损失以及天线功率和增益(Kilcoyne等人。,2016年)。
电负性电感耦合等离子体 (ICP) 用于微电子工业中半导体制造的导体蚀刻。天线功率和偏置电压的脉冲化提供了额外的控制,以优化等离子体 - 表面相互作用。然而,由于在前一次余辉结束时电子密度较低,因此脉冲 ICP 在功率脉冲开始时易受电容到电感模式转变的影响。电容 (E) 到电感 (H) 模式的转变对前一次余辉结束时等离子体的空间结构、电路(火柴盒)设置、操作条件和反应器配置(包括天线几何形状)很敏感。在本文中,我们讨论了通过计算研究的结果,研究了在 Ar/Cl 2 和 Ar/O 2 气体混合物中维持的脉冲 ICP 中的 E - H 跃迁,同时改变操作条件,包括气体混合物、脉冲重复频率、功率脉冲的占空比和天线几何形状。在 Ar/Cl 2 混合气体中维持的脉冲 ICP 容易发生显著的 E – H 跃迁,这是因为余辉期间与 Cl 2 发生热解离附着反应,从而降低了预脉冲电子密度。这些突然的 E – H 跃迁会从等离子体边界(尤其是天线下方)形成的鞘层发射静电波。在 Ar/O 2 混合气体中观察到的更平滑的 E – H 跃迁是由于缺乏对 O 2 的热电子附着反应,导致功率脉冲开始时的电子密度更高。讨论了入射到晶片和天线下方的介电窗口上的离子能量和角度分布 (IEAD)。天线的形状影响 E – H 跃迁和 IEAD 的严重程度,天线具有面向等离子体的较大表面积,会产生较大的电容耦合。通过将计算出的电子密度与实验测量值进行比较来验证模型。