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定位台和平台 PM - 轴承 - VM Traders
高温影响 PM 直线轴承可在 -40°C 至 +80°C 的温度范围内使用。如对电机、滚珠丝杠、测量系统等的使用存有疑问或问题，请咨询 PM - BEARINGS。当 PM 直线轴承在超过 150°C 的温度下使用时，导轨硬度会开始下降，并且必须根据下表中的系数 ft 降低额定载荷。如果已预加载或调整游隙的直线轴承组件的不同元件遭受温差，则可能会产生有害影响。在最坏的情况下，预加载可能会过大，导致轴承导轨中出现布氏压痕。因此，如果对运行精度有很高的要求，则必须避免这种温差。
NIST 和 NIM* 之间的光纤功率计比较
通过光纤传输到光纤分路器，大约 1% 的功率从那里传输到监控探测器。剩余 99% 的功率传输到用于比较的参考光纤电缆。NIST 参考标准是电校准热释电辐射计 (ECPR)，该辐射计先前已根据主要标准 NIST 激光优化低温辐射计 (LOCR) 进行了校准。ECPR 由覆盖有金黑色涂层的热探测器组成。在 1300 nm-1550 nm 的波长区域内，ECPR 的响应与入射辐射的波长无关 [12]。NIM 测量系统类似于 NIST 系统。它由波长为 1301.2 nm 和 1549.2 nm 的光纤尾纤激光源、参考光纤电缆以及用于比较 NIM 参考和传输标准的定位台组成。 NIM 参考标准，电校准绝对辐射计 (ECAR) 是一种已根据 NIM 低温辐射计校准的热设备。
![arXiv:2003.11092v1 [physics.ins-det] 2020 年 3 月 24 日](/simg/9\90f84539285a60ac468aeb538aa84740eab0b79c.webp)
arXiv:2003.11092v1 [physics.ins-det] 2020 年 3 月 24 日
2025 年至 2027 年间，CMS（紧凑型μ子螺线管）探测器的一些重要组件（最显著的是跟踪器和量热仪端盖）将进行升级，以应对 HL-LHC（高亮度大型强子对撞机）条件。升级后的 CMS 外部跟踪器和新型 CMS 高粒度量热仪（HGCAL）的部件将包含超过 50,000 个新型硅传感器，总面积约为 800 平方米。传感器批量生产需要专门的策略来监控生产过程的质量和稳定性。该策略基于一个测试结构集，可通过该结构集快速轻松地访问关键工艺参数。这些参数包括传感器上无法直接访问的参数（例如氧化物电荷浓度和界面陷阱密度）以及需要潜在破坏性测量的参数（例如介电强度）。该组在每个生产晶圆上至少实施两次。它分为用于初步评估最相关工艺参数的测试结构和用于深入分析的结构。所有结构都可使用 20 针探针卡和自动定位台进行接触。使用该系统，大约 30 分钟内即可完成一个晶圆的初步分析。在本文中，CMS 合作提出了第二阶段升级的质量保证计划，重点是工艺质量控制。我们介绍了传感器工艺细节、将在 CMS 外部跟踪器和 HGCAL 的生产运行中实施的测试结构集的布局，以及说明所含测试结构功能的测量结果。