摘要:我们报告了一种嵌段共聚物 (BCP) 定向自组装 (DSA) 的方法,其中第一层 BCP 膜部署均聚物刷或“墨水”,这些刷或“墨水”在现有聚合物刷上方的聚合物膜热退火期间通过聚合物分子的相互渗透依次接枝到基材表面。通过选择具有所需化学性质和适当相对分子量的聚合物“墨水”,可以使用刷相互渗透作为一种强大的技术,以与 BCP 域相同频率生成自配准的化学对比模式。结果是一种对引导模式中的尺寸和化学缺陷具有更高容忍度的工艺,我们通过使用均聚物刷作为引导特征而不是更坚固的可交联垫来实现 DSA 来展示这一点。我们发现使用“油墨”不会影响线宽粗糙度,并且通过实施稳健的“干剥离”图案转移,验证了 DSA 作为光刻掩模的质量。关键词:定向自组装、嵌段共聚物、薄膜、先进光刻、缺陷率■ 简介
对于需要高分辨率图案化的实验室成员,嵌段共聚物定向自组装可以作为更传统的光刻技术的低成本、高通量补充。嵌段共聚物由两种或多种化学性质不同的聚合物端对端结合而成。当将嵌段共聚物溶液旋涂到基材上时,可以加热薄膜以诱导自组装。在此过程中,组成聚合物根据其 Flory-Huggins 相互作用参数 (χ) 相互排斥,以达到其最小自由能位置。随着嵌段分离,同类聚合物会被同类聚合物吸引,从而形成周期性域。自组装域的形状取决于嵌段共聚物中的嵌段数以及这些嵌段的相对比例。[1] 本报告将重点介绍具有两种组成聚合物的二嵌段共聚物。在可实现的各种域形状中,对于光刻最实用的是分别使用 50:50 和 70:30 嵌段共聚物形成的薄片和圆柱体。
指导指定传感器激活的卷纸毛巾分配器[凹陷] [半衰减] [表面安装]壁柜。毛巾分配器门面形成,由现代轮廓,半径和制造商设计师系列中的相关配件形成。毛巾分配器容量一:8英寸宽乘8¼英寸的标准纸巾卷,带有传感器激活的毛巾分配机构,带有钥匙到的玻璃杯锁。通用键合。由不锈钢板形成,在裸露的表面上,完全焊接,无缝角和无毛刺边缘:橱柜和法兰0.030英寸 / 22-GA。厚的;门0.036英寸 /20-ga。厚的。毛巾分配器可操作四个D大小碱性电池。
工业过程(包括石油化工、纺织、皮革和钢铁加工)每天都会产生大量含油废水。这种废水对环境构成了巨大挑战,工业界采用多种方法将水与油分离,包括吸油材料、重力分离、絮凝和凝结。然而,这些方法在分离油滴小于 20 µm 的油水乳剂时无效,并且在加入化学品或使用电场时效果不佳。膜过滤是处理此类乳剂(尤其是表面活性剂稳定的乳剂)的最佳策略之一,因为它们通过简单的过滤过程产生高纯度的水渗透物,并且可以在大型工业规模上多次清洗和重复使用。本次演讲将概述卡塔尔大学与南密西西比大学合作开发和测试的新型聚苯乙烯基共聚物膜。新开发的膜在紧密乳化液中将油与水分离方面表现出显著的增强效果,同时在五次运行中表现出极高的抗污性,而商用膜仅在两次乳化液运行中就会被污染。演讲将概述膜在清洗和重复使用周期后的油去除效率、化学、形态和机械稳定性。最后,使用合成油水和现场样品以及卡塔尔石油和天然气公司的测试方案对膜进行了测试。
5. 公开招标地点和日期 (1)地点:日本陆上自卫队留萌卫戍部队休息室 (2)日期和时间:2024 年 7 月 30 日星期二上午 10 点 6. 参加资格 (1)不属于《预算、会计和审计法》第 70 条规定的人员。此外,未成年人、被监护人或接受协助的人,即使已经取得订立合同所必需的同意,也属于同一条款内有特殊事由的情况。 (2)不属于《预算会计审计法》第七十一条规定情形的。 (3)已完成2022年度、2023年度、2024年度防卫省竞标资格(各省厅统一资格)登记手续,并已获得合格人员认证,“货物销售”等级为“D”以上,具备参加北海道地区竞标的资格。 (4)该人不属于“暂停与设备等及服务采购相关的指定等”附件的对象。 (5)该人目前没有受到合同官员或其他类似人员的交易暂停。 7.保证金等事项 (1)投标保证金:免除(但是,如果未按照《投标和签订合同指南》的规定办理合同手续,则中标人将被视为未同意签订合同,并将收取中标金额的百分之五的罚款。) (2)合同保证金:免除(但是,如果承包商不履行合同,则至少要收取合同金额的百分之十的罚款。) (3)延误赔偿金:每延误一天,将收取合同金额的千分之一或以上。 8. 无效投标 (1) 不具备第 1 项规定的参加竞标所需资格的人员所作的投标。 (2) 投标金额、投标人名称和印章难以确定的投标。 (3) 违反其他有关投标条件的投标。 (4) 通过电报或传真进行的投标。 (5) 投标人在投标开始时间之前迟到的投标。 (6) 未履行有关排除黑社会组织的承诺的人员所作的投标和承诺,且包含虚假内容或出现违反承诺的情况。 9. 中标确定方法
纳米结构嵌段共聚物薄膜是一种生成复杂周期性图案的精巧工具,其周期从几纳米到几百纳米不等。这种组织良好的纳米结构有望推动下一代纳米制造研究,在生物、光学或微电子功能材料的设计中具有潜在的应用价值。然而,考虑到热力学驱动力倾向于形成最小化嵌段间界面的结构,这一宝贵平台受到二嵌段共聚物架构所能获得的几何特征的限制。因此,丰富嵌段共聚物自组装过程所获得的结构多样性的策略正在获得发展动力,本进展报告通过考虑生成“非天然”形态的新兴策略,回顾了迭代 BCP 自组装所固有的机会。
摘要:我们报告了一种嵌段共聚物 (BCP) 定向自组装 (DSA) 的方法,其中第一层 BCP 膜部署均聚物刷或“墨水”,这些刷或“墨水”在现有聚合物刷上方的聚合物膜热退火期间通过聚合物分子的相互渗透依次接枝到基材表面。通过选择具有所需化学性质和适当相对分子量的聚合物“墨水”,可以使用刷相互渗透作为一种强大的技术,以与 BCP 域相同频率生成自配准的化学对比模式。结果是一种对引导模式中的尺寸和化学缺陷具有更高容忍度的工艺,我们通过使用均聚物刷作为引导特征而不是更坚固的可交联垫来实现 DSA 来展示这一点。我们发现使用“油墨”不会影响线宽粗糙度,并且通过实施稳健的“干剥离”图案转移,验证了 DSA 作为光刻掩模的质量。关键词:定向自组装、嵌段共聚物、薄膜、先进光刻、缺陷率■ 简介
图1。(a)根据块的体积分数(f a),可从微观相期望的定义形态的示意图。(b)AB二嵌段共聚物预期的理论相图取决于F a和χn。(c)实验获得的PS -B -PI二嵌段共聚物的相图。从F. S. Bates,G。H。Fredrickson复制;块共聚物 - 设计器软材料。物理学今天1999年,第52(2)卷,第32-38页,在美国物理研究所的许可下。9虽然SEM和AFM技术已被经典地用于获取一些有趣的信息
图1:多尺度模拟实现ELP冷凝水的热力学和结构表征。(a)模拟二嵌段ELP的序列的说明,该序列由五氨基酸重复序列组成,其中X用客人氨基酸代替。(b)逐渐增加模型分辨率的三步多尺度模拟方法的概述。V 5 L 5的仿真在每个步骤中产生示例配置。肽是红色的,而水分子,氯和钠的颜色分别为蓝色,绿色和橙色。插入G-V-G重复和周围水分子的插入片段表明每个模型的分辨率。(c)20 ELP冷凝物的模拟表面张力(τ)与相关系统的过渡温度(T t)之间的相关性。46ρ是两个数据集之间的Pearson相关系数,虚线是模拟和实验数据之间的最佳拟合。错误条表示五个独立时窗口的估计值的标准偏差。