用于干燥或润滑空气的通用阀门 。...............................中性气体和液体 7 ..............................微型阀(2 通直动式)37 ........。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。水和中性液体用阀门 45 ...............................防水锤阀 63 ..............................热水-蒸汽阀 71 ........。。。。。。。。。。...............液压油和中性液体阀门(最大100 bar)85 .........。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。高耐腐蚀阀门(不锈钢) 95
1.简介 本报告涉及微机电系统(MEMS)这一新兴领域。MEMS 是一种工艺技术,用于创建结合了机械和电气元件的微型集成设备或系统。它们采用集成电路 (IC) 批处理技术制造,尺寸范围从几微米到几毫米。这些设备(或系统)能够在微观尺度上进行感应、控制和驱动,并在宏观尺度上产生影响。MEMS 的跨学科性质利用了来自广泛而多样的技术领域的设计、工程和制造专业知识,包括集成电路制造技术、机械工程、材料科学、电气工程、化学和化学工程,以及流体工程、光学、仪器仪表和封装。MEMS 的复杂性还体现在包含 MEMS 设备的广泛市场和应用范围内。MEMS 可应用于汽车、医疗、电子、通信和国防等各个领域。当前的 MEMS 设备包括安全气囊传感器的加速度计、喷墨打印机头、计算机磁盘驱动器读/写头、投影显示芯片、血压传感器、光开关、微型阀、生物传感器以及许多其他以高商业量生产和出货的产品。MEMS 被认为是 21 世纪最有前途的技术之一,它有可能通过将硅基微电子技术与微加工技术相结合,彻底改变工业和消费产品。它的技术和基于微系统的设备有可能极大地影响我们所有人的生活和生活方式。如果说半导体微加工是第一次微制造革命,那么 MEMS 就是第二次革命。本报告介绍了 MEMS 领域,分为四个主要部分。第一部分向读者介绍了 MEMS、其定义、历史、当前和潜在应用,以及 MEMS 市场现状和小型化问题。第二部分介绍了 MEMS 的基本制造方法,包括光刻、体微加工、表面微加工和高纵横比微加工;还介绍了 MEMS 设备的组装、系统集成和封装。最后一部分阐述了 MEMS 行业在实现 MEMS 商业化和成功方面面临的挑战。2.第三部分回顾了 MEMS 传感器和执行器的范围、可以用 MEMS 设备感知或作用的现象,以及基本感知和执行机制的简要说明。微机电系统 (MEMS)
主题页 主题页 简介 2 22 mm 紧凑型金属安全限位开关,带 5 针微型 (M12) 插头连接器 85 变更摘要 2 保护锁定开关 - 固态开关(OSSD 安全输出) 2 NC 22 mm 紧凑型金属安全限位开关 88 440G-MZ 保护锁定开关 3 440G-LZ 保护锁定开关 6 2 NC 紧凑型金属安全限位开关,带 5 针微型 (M12) 插头连接器 90 TLS-Z GD2 保护锁定开关 9 保护锁定开关 - 机电开关(无电压触点) 2 NC 22 mm 金属安全限位开关,带 4 针微型 (M12) 插头连接器 93 TLS-GD2 保护锁定开关 13 440G-MT 保护锁定开关 19 22 mm 塑料外壳 IEC 型安全限位开关开关 96 Atlas 5 防护锁定开关 23 联锁开关 - 机电式(无电压触点) 440G-S Spartan 防护锁定开关 27 Elf 微型舌片联锁开关 99 铰链开关 Cadet 3 舌片联锁开关 103 Sprite 微型铰链联锁开关 31 Trojan T15 舌片联锁开关 107 Ensign 3 铰链联锁开关 35 Trojan 5 和 6 通用舌片联锁开关 111 Rotacam 重型铰链联锁开关 39 MT-GD2 舌片联锁开关 116 具有防护锁定功能的联锁开关,用于过程保护 安全钥匙联锁开关 440G-EZ 电磁安全开关 43 旋转开关 126 联锁开关 - 非接触式开关操作 131 SensaGuard 非接触式联锁开关46 电磁释放装置 133 磁编码非接触式联锁开关 51 电子延时装置 137 Ferrogard 1、2、20 和 21 非接触式联锁开关 54 钥匙交换装置 139 Ferrogard 3、4 和 5 非接触式联锁开关 57 螺栓联锁 142 Ferrogard 6、9、10、13 和 14 非接触式联锁开关 59 操作 143 Ferrogard GD2 非接触式联锁开关 63 门禁和链条锁闭式钥匙联锁开关 149 Ferrogard GS1 和 GS2 非接触式联锁开关 66 Prosafe Slamlock 机械联锁开关 155 Sipha 传感器 68 Prosafe Slamlock 电气联锁开关 158 紧凑型安全限位开关 微型阀门锁闭式钥匙联锁开关163 1 NC 22 mm 紧凑型金属安全限位开关 73 开关设备适配器 164 IMP 安全限位开关 76 配件 166