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World File Search System截面形状
电子束光刻中的局部剂量分布和轮廓变化。
摘要 为了将利用电子束光刻技术制作的抗蚀剂图案应用于纳米压印模具，不仅需要考虑从曝光顶面二维观察到的线宽和孔径，还需要考虑包括抗蚀剂横截面形状在内的三维情况。在本研究中，我们关注图案内部的剂量分布和显影时间，并研究它们对抗蚀剂横截面形状的影响。采用曝光方法制作线宽为 100nm 的抗蚀剂图案，其中一条线内的总剂量相同，但一条线内的电子束扫描位置和次数会发生变化。通过电子散射模拟分析的剂量分布与解析后的图案侧壁形状之间的比较结果表明，在特定条件下，剂量分布和实际的抗蚀剂形状在 ±5nm 精度内相互一致。结果表明，即使整个图案的平均剂量相同，抗蚀剂侧壁的实际形状也会因取决于扫描位置和扫描次数的抗蚀剂中的局部剂量分布而改变。此外，我们通过观察不同显影时间下曝光后的抗蚀剂的显影过程，研究了抗蚀剂的分辨机理。结果表明，图案内部剂量的差异引起的显影速度差异对抗蚀剂的截面形状产生影响。本研究结果表明，抗蚀剂内部剂量分布和由此引起的显影速度差异对抗蚀剂截面形状有显著影响，这些参数有望在未来应用于所需截面形状的制作。
OccuSwitch 经典款 - 飞利浦
特点 • 红外和超声波信号，有助于最大限度地减少错误读数 • 数字技术使用最少的组件，以提高可靠性并降低成本 • 单个安装柱和三根颜色编码的电线可实现快速、简单的安装 • 球形截面形状提供时尚的设计，可轻松融入背景 • 自调节设置意味着可以不断调整时间延迟设置，有助于消除简单调整的服务回调 • 非易失性存储器意味着学习和调整的设置保存在受保护的内存中，防止断电期间的状态丢失 • 环境光识别有助于防止房间被自然光充分照亮时灯亮 • 准确一致的切换，以便在房间有人时灯亮，在空无一人时灯灭。最大限度地减少了令人讨厌的误关机，并消除了夜间开灯的情况
占用传感器 多技术天花板传感器
特点 自调节设置：无需回调调整。不断调整延时设置。 非易失性存储器：学习和调整后的设置保存在受保护的存储器中。断电不会导致状态丢失。 覆盖范围广：选择所需的大致面积。提供从 500 到 2000 平方英尺的单位。 环境光识别：当房间有充足的自然光照明时，光电管会阻止灯亮起 尺寸小巧：球形截面形状使安装几乎不可见。 准确、一致的切换：消除了居住者的投诉；房间有人时灯亮，房间空时灯灭。最大限度地减少了恼人的误关机，并消除了夜间开灯的问题。 安装快速简便：单个安装柱和三根颜色编码的电线使安装变得简单。 光电管：20-3,000 勒克斯可调。出厂设置为 3,000 L（光电管禁用） 定时器设置：自动和手动 - 30 秒至 30 分钟。测试模式 - 6 秒。
双重技术传感器 - Effective Concepts LLC
特点 两种操作模式：一旦传感器适应了当前的房间条件，就会设置一个阈值来确定传感器在该时间段内将处于哪种模式。一旦进入昼夜节律学习模式，Miser 和高灵敏度模式之间的切换是自动的。自我调整设置：消除了调整回调。持续分析超声波和红外灵敏度、计时器和气流补偿。非易失性存储器：学习和调整后的设置保存在受保护的内存中。断电不会导致状态丢失。覆盖范围广：选择所需的大致面积。单位从 500 到 2000 平方英尺。可用。小尺寸：球形截面形状使安装几乎看不见。准确、一致的切换：消除了居住者的投诉；房间有人时灯亮，空时灯灭。最大限度地减少了令人讨厌的误关机，并消除了夜间开灯的情况。可视状态报告：只需向传感器挥动 5 次，即可通过编码的灯光序列直观地报告状态。快速、简单的安装：单个安装柱和三根彩色编码的电线使安装变得简单。