摘要 使用紧凑而坚固的宽带微电子 THz 波谱仪在 220-330 GHz 频率范围内进行旋转吸收光谱法,演示了对卤代烃的气体传感。在工业环境中,对卤代烃进行监测是必要的,因为这些化学物质具有毒性、挥发性和反应性,对人类健康和环境构成威胁。在 297 K 和 0.25 至 16 Torr 压力下表征了纯氯甲烷、二氯甲烷、氯仿、碘甲烷和二溴甲烷的吸收光谱。光谱显示了目标卤代烃在 220-330 GHz 频率范围内独特的旋转指纹,并展示了它们在气体传感应用中选择性定量检测的潜力,纯气体的最小检测量为 10 12 –10 13 分子/cm 3 量级,稀释气体的最小检测量为 10-100 ppm 量级,1 个大气压,1 米光程。该研究进一步证明了全电子微型太赫兹波气体传感器的潜力。