摘要—大带宽体声波 (BAW) 滤波器是第五代 (5G) 通信系统的迫切需求。在这项研究中,我们在多层氧化物薄膜上制备了 43 ◦ Y 切割铌酸锂 (LN) 单晶薄膜,并成功实现了带氧化物布拉格反射器 (BR) 的体声波滤波器。介绍了滤波器的设计方法和制造工艺。利用原子力显微镜 (AFM) 和扫描电子显微镜 (SEM) 来表征薄膜的质量。结果证明了将单晶薄膜转移到多层氧化物上的可行性,这对于限制声能是有效的。该谐振器的有效机电耦合系数为 14.6%,品质因数 (FOM) 为 32.94。该滤波器尺寸紧凑,为600 μ m×400 μ m,在中心频率为3.128 GHz时相对带宽为10.3%,有望应用于5G系统。
摘要:介绍了顺序负载调制平衡放大器(SLMBA)的基本理论,分析了其有源负载调制的工作原理。为了进一步提高SLMBA的性能,提出了一种有别于传统耦合器设计的耦合器与功率放大器(PA)联合设计的方法。该耦合器-PA联合设计方法根据SLMBA的回退点和饱和点,可以使耦合器和三通PA的工作状态更接近实际情况,提高了SLMBA的整体性能。然后通过预设的输出功率回退(OBO)10 dB确定控制PA与平衡PA的最大输出功率比,通过平衡PA的负载调制阻抗走线确定相位补偿线。为了验证所提方法,设计了工作在1.5~2.7 GHz(57%相对带宽)的SLMBA。版图仿真结果表明该器件饱和输出功率达到40.7~43.7 dBm,小信号增益为9.7~12.4 dB,饱和点和10 dB OBO点的漏极效率分别为52.7%~73.7%和44.9%~59.2%。