这家德国初创公司是一家为航天、国防、能源和相关行业提供先进金属增材制造服务的供应商。公司专注于加工铌合金 (C103)、镍合金 (In718)、钛合金 (Ti64、Ti CP1)、铝合金 (A6061、AlSi10Mg)、难熔金属 (钽、钨) 和不锈钢 (SS316L)。该公司在创新合金工艺开发方面拥有丰富的专业知识,并担任多种应用的开发合作伙伴和产品设计师。
自聚集胶体可用于制备材料,我们研究了胶体水炭分散颗粒中水分蒸发后形成的长棒状聚集体。单分散水炭颗粒(100-200 纳米)由葡萄糖热液碳化合成,并通过透析纯化。在合成过程中,它们形成胶体分散体,在中高 pH 值和低离子强度下静电稳定。水分蒸发后,在中等 pH 条件下,分散体会形成宏观上较大的棒状物。这些棒状物在固-水界面处形成,与干燥方向正交。热解使棒状物具有高度多孔性,但不会对它们的形状产生任何影响。将 Cu-Si 合金反应性地渗入原位热解水炭和形成的三铜硅化物 (Cu 3 Si)-碳化硅 (SiC)/碳复合材料中。在此过程中,Si 原子与 C 原子发生反应,进而导致合金润湿并进一步与碳发生反应。在反应过程中,底层碳模板的形状保持不变,随后将形成的复合材料制剂煅烧成 Cu 3 Si-SiC 基碳基胶体颗粒棒状组件的复制品。使用透射和扫描电子显微镜以及 X 射线衍射研究了所形成固体的形状、成分和结构。从胶体科学的角度,可以进一步研究将合金反应渗透到自聚集和碳基固体中制备的材料,以及探索性地使用由真实生物质制备的水炭,探索与反应渗透有关的组成空间,以及材料在催化中的应用。2021 作者。由 Elsevier Inc. 出版。这是一篇根据 CC BY 许可开放获取的文章(http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/)。
我们研究了在近乎正常的 40 keV Ar + 溅射和同时进行的 Fe 斜向共沉积下硅表面的纳米图案化。离子束入射角保持在 15°,在没有金属掺入的情况下不会产生任何图案。通过原子力显微镜(其形态和电模式)、卢瑟福背散射光谱、X 射线光电子能谱、扫描俄歇以及透射和扫描电子显微镜进行形态和成分分析。最初,纳米点结构随机出现,随着离子通量的增加,它们逐渐沿与 Fe 通量垂直的方向排列。随着通量的增加,它们聚结在一起,形成波纹图案。随着与金属源的距离减小(即金属含量增加),图案动态和特性分别变得更快和增强。对于最高的金属通量,波纹会变得相当大(高达 18 μ m)且更直,缺陷很少,图案波长接近 500 nm,同时保持表面粗糙度接近 15 nm。此外,对于固定离子通量,图案顺序会随着金属通量而改善。相反,图案顺序随离子通量增加的增强率并不依赖于金属通量。我们的实验观察与 Bradley 模型的预测和假设一致 [RM Bradley,Phys。Rev. B 87,205408(2013)] 几项成分和形态研究表明,波纹图案也是成分图案,其中波纹峰具有更高的铁硅化物含量,这与模型一致。同样,波纹结构沿着垂直于 Fe 通量的方向发展,并且图案波长随着金属通量的减少而增加,其行为与模型预测在性质上一致。
先进的 CMOS 技术在每一代新产品中都采用传统的尺寸缩放和颠覆性技术创新,以实现预期的性能改进 [1][2]。这在纳米技术中更为重要,因为传统的结深、栅极长度和栅极氧化物厚度缩放正在接近某些物理极限。先进 CMOS 技术的主要工艺突破之一是将大量应力元件引入 NMOSFET 和 PMOSFET(图 1),以提高性能。特别是,PMOSFET 器件受到了更多关注,因为 SiGe 技术随时可用,这种技术易于理解且与基础硅工艺完全兼容。这些工艺元件(如源极/漏极 eSiGe)已成功集成到 45nm [3] 至 32nm [4][5] 及以后的高性能 PMOSFET 中。其他应力元件(如压缩或拉伸应力衬里)对 PMOSFET 或 NMOSFET 都有好处,具体取决于氮化硅衬里的应力极性。尽管有大量文献介绍了传统缩放和不同应力元件如何影响 MOSFET 性能,但人们对它们对在高电流水平下工作的器件的影响知之甚少,例如在 ESD 类脉冲条件下 [6]。据报道,ESD NMOSFET 的故障电流不受拉伸衬里工艺的显著影响 [7],原因是
研究了 C54 Ti(Si, -,Ge,,) 薄膜与 Si, -XGe, 衬底接触时的稳定性。C54 Ti(Si, -,Ge,,j) 薄膜由 Ti-Sii-,Ge, 固相金属化反应形成。结果表明,最初形成的 C54 Ti(Si, -,,Ge,,) 的 Ge 指数 y 与 Si, -XGeX 衬底的 Ge 指数 x 大致相同(即 yx)。C54 钛锗硅化物形成后,Si, -XGeX 衬底中的 Si 和 Ge 继续扩散到 C54 层中,大概是通过晶格和晶粒边界扩散。扩散到 C54 晶格中的部分 Si 取代了 C54 晶格上的 Ge,C54 Ti(Si, -,GeJZ 的 Ge 指数降低(即 yx)。这种偏析和沉淀增强了C54钛锗硅化物薄膜的团聚(即较低的团聚温度)。观察到可以使用快速热退火技术来减少退火时间并导致Ge偏析的减少。0 199.S美国物理学会。