立体系统

基于飞秒激光直写的成像/非成像微光学元件和立体系统

现代信息技术的发展导致对具有复杂表面轮廓和纳米级表面粗糙度的微光学元件的需求巨大。因此，各种微纳加工技术被用于制造微光学元件和系统。飞秒激光直写（FsLDW）利用超快脉冲和飞秒激光的超强瞬时能量进行微纳加工。FsLDW表现出各种优异的性能，包括非线性多光子吸收、超越衍射极限的高精度加工和可加工材料的通用性，展示了其在三维（3D）微纳制造中的独特优势和潜在应用。FsLDW已在各种微光学系统的制造中展示了其价值。本研究详细介绍了FsLDW的三种典型原理、几种提高加工性能的设计考虑因素、可加工材料、成像/非成像微光学元件及其立体系统。最后，对FsLDW支持的微光学元件和立体系统的未来研究方向进行了总结和展望。