在过去的几十年中,数字和模拟集成电路的集成密度和性能经历了一场惊人的革命。虽然创新的电路和系统设计可以解释这些性能提升的部分原因,但技术一直是主要驱动力。本课程将研究促成集成电路革命的基本微制造工艺技术,并研究新技术。目标是首先传授构建微型和纳米器件的方法和工艺的实际知识,然后教授将这些方法组合成可产生任意器件的工艺序列的方法。虽然本课程的重点是晶体管器件,但许多要教授的方法也适用于 MEMS 和其他微型器件。本课程专为对硅 VLSI 芯片制造的物理基础和实用方法或技术对器件和电路设计的影响感兴趣的学生而设计。30260133 电子学基础 3 学分 48 学时
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8 Takei Tomohisa,“海上新时代的海上自卫力量 - 新海上时代的JMSDF”,“ Hato”,vol。 34,第4号,2008年,第2-29页; Saito Satoshi,“ Reiwa中的海上自卫队 - 其努力的方向”,“海上学校战略研究”,第1卷。 10,第1、2020页,第7-19页; Omachi Katsushi,“新时代的海洋自卫力量作为海力量”,“海上学校战略研究”,第1卷。 11,第1期,2021年,第12-39页;此外,这些实现的三个目标是由海上自卫队授权为组织的目标。 “迈向免费开放的海洋 - 海上自卫力量之战的指南”(“海上自卫力战略指南”)海上自卫队,https://wwwwww.mod.go.go.jp/msdf/msdf/msdf/msdf/about/guideline/,2024年1月11日,2024年1月11日。
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