摘要 - 密封包装是微观计量计保持长期可靠性的关键要求。对于微量光度计的真空包装以获得更高的红外光线传输,需要稀薄的膜片。但是,由于大气的压力差,较薄的隔膜会导致较大的挠度,这可能会影响IR信号的焦点并可能导致机械故障。在本文中,已经根据使用COMSOL和ZEMAX的机械稳定性和光学性能来研究使用薄薄的单晶硅diaphrags作为微量仪阵列密封包装的封装的权衡。光学模拟表明,薄隔膜的弯曲对8到14 µm波长的红外光聚焦具有可忽略的影响。机械模拟表明,具有10×10 mm 2面积的厚度(厚度<70 µm)和一个具有12×12 mm 2面积的膜片(厚度<90 µm)会导致机械故障,并且设计的diaphragm厚度必须掺入这些值。
elements-properies和应用 - 金属眼镜 - 特性和应用 - 智能材料 - 压电,磁性,磁性的,电纵横制的材料 - 形状的记忆合金 - 流变学液体 - CCD设备材料和应用 - 应用 - 应用 - 单晶晶体细胞 - 单晶型材料材料 - 层状细胞 - 薄膜薄膜 - 薄膜片 - 薄膜片,呈薄膜片,呈薄膜片,呈薄膜片,氧化物 - 薄膜片 -
2 泰国微电子中心(TMEC)、国家电子和计算机技术中心、国家科学技术发展局、Chachoengsao 24000,泰国电子邮件:a s6209091960016@email.kmutnb.ac.th,b,* ekachai.j@tggs.kmutnb.ac.th(通讯作者),c hwanjit.rattanasonti@nectec.or.th,d putapon.pengpad@nectec.or.th,e karoon.saejok@nectec.or.th,f chana.leepattarapongpan@nectec.or.th,g ekalak.chaowicharat@nectec.or.th,h wutthinan.jeamsaksiri@nectec.or.th 摘要。本文针对低压工作范围提出了一种改进的微机电系统 (MEMS) 压阻式压力传感器设计,该传感器由花瓣边缘、横梁、半岛、三个横梁和一个中心凸台组合而成,以提高传感器性能,即灵敏度和线性度。利用有限元法 (FEM) 预测 MEMS 压阻式压力传感器在 1-5 kPa 施加压力下的应力和挠度。利用幂律制定纵向应力、横向应力和挠度的函数形式,然后将其用于优化所提设计的几何形状。仿真结果表明,所提设计能够产生高达 34 mV/kPa 的高灵敏度,同时具有 0.11% 满量程 (FSS) 的低非线性。半岛、三个横梁和中心凸台的设计降低了非线性误差。通过增加花瓣边缘宽度可以提高灵敏度。还将所提设计的传感器性能与文献中先前的设计进行了比较。比较结果表明,所提设计的性能优于先前的设计。关键词:MEMS、压阻式压力传感器、有限元法、灵敏度、线性度。
过去二十年在产前诊断和胎儿治疗领域取得了深远的进步。超声检查和磁共振成像导致在妊娠期妊娠时更准确地诊断出胎儿异常。随之而来的是,诸如胎儿镜检查和超声引导手术之类的微创技术的改进使得在子宫内部的胎儿疾病干预措施方面有了更成功和更安全的措施。成功的例子包括用于双胞胎输血综合征的胎儿激光凝血,用于选择性胎儿减少的射频消融,胎儿气管内do骨气管闭塞的膜片性疝气,这些气球可用于膜片性疝气,这些球显示可改善受影响胎儿的生存。我们是香港和亚洲这些高级治疗的推荐中心。
▪ 让参与者亲自演示或描述泵的组装,或通过视频通话,或让他们通过电子邮件或短信将视频发送给工作人员,以确保组装正确。许多问题都与组装不当和/或部件缺失或损坏有关,例如膜片、鸭阀和隔膜。
刺激性响应性的“智能”材料可以积极响应外部田地并实时改变其微观或纳米结构,这是灵活显示器中未来技术的基础[1-3],生物传感器[4],有机光发射二极管[5,6]和薄膜膜片摄影膜片呈现图形细胞[7-9]。这些结构响应可以导致物理性质的显着增强,例如光反射率[10-12],热电传导率[13-15]或机械强度[14,15],打开了越来越复杂的应用。热响应聚合物溶液是响应式材料的一个例子,这些材料显示出随温度变化而显示出巨大的微结构响应。表现出较低临界溶液温度(LCST)的聚合物由于溶解度恶化而随着温度的增加而经历构象变化。高于此解散温度,发生宏观相分离。最彻底研究的热响应聚合物溶液之一是水(N-异丙基丙烯酰胺)(PNIPAM)[16] [16],其在接近体温(〜32°C,依赖于聚合物特性)的LCST附近。
InVue 集成流量控制器 6550 型采用独特的 PTFE 阀膜片,可控制大容量流体流量。利用最新的电动阀和流量计技术,封装的内部电子元件可控制流量控制器的各个方面。该产品由设定点信号(例如 4 – 20 mA、0 – 10 VDC)激活,以将流体流量保持在所需的设定点。