配色

高灵敏度的配色元面纳米晶体结构的光学设计CMOS图像传感器Chulsoo Choi 1，Jonghoon Park 1，Yunki Lee 1，

1 System LSI部，三星电子，Yongin-si，Gyonggi-Do，韩国共和国，电子邮件：chulsoo.choi@choi@samsung.com 2 Samsung高级技术研究所，Suwon，Suwon，Gyeonggi-do，Gyonggi-do，韩国，韩国，3 Semiconductor R＆D Center，Semiconductor R＆D Center，Samiconductor R＆D Center，Samsong remolon oferea Electronemonge oferon oferon oferon oferon oferon oferon oferon oferon oferon，wore，hissi si，gye，he gye， 4铸造司，三星电子，扬宁 - 锡，朝鲜共和国摘要 - 在本文中，一种称为Nano-Prism（NP）设计的元体型结构是由完整的EM-WAVE分析工具设计的，严格耦合的波浪分析（RCWA），并在0.64μmpixel Image Sensor上应用于50MMM，并将常规μ-镜头。为了将NP结构应用于产品级别图像传感器，不仅要在直接光中固定特征，而且还要在倾斜的光条件下使用主要射线角（CRA）保护特征。在本文中，描述了NP设计和改进的像素特征在斜光条件下。此外，NP的关键优势之一是光谱响应可以通过安排图案设计而不更改颜色滤镜材料来调节，这在本文中得到了验证。此外，在本文中也证明了创新的量子效率（QE）提高（QE）的提高（QE），这导致了25％的灵敏度和1.2dB的信号与噪声比（SNR）的改善，以及其他重要的传感器特性，例如自动对焦和分辨率。