无溶剂合成和加工金属有机骨架 (MOF) 对于将这些材料应用于应用技术至关重要。MOF 薄膜的气相合成特别适合此类应用,但与传统的基于溶液的方法相比具有挑战性。因此,推进和扩大 MOF 薄膜的气相合成势在必行。结晶对苯二甲酸铜 MOF 薄膜通过原子和分子层沉积 (ALD/MLD) 在不同种类的基底上以气相生长。从先驱工作扩展而来,首次清楚地证明了 3D 相的形成,并揭示了该工艺对多种基底的适应性。在 ALD/MLD 工艺的早期阶段观察到定向膜生长,导致表面上取向的 MOF 晶体,当随着 ALD/MLD 循环次数的增加而进行各向同性生长时。值得注意的是,这项研究主要展示了使用具有晶格匹配拓扑的 DMOF-1 单晶作为起始表面,在气相中实现异质外延生长。这种方法为在气相中开发 MOF 超晶格材料提供了一种有吸引力的途径。
Nyngan 项目 • 与合作伙伴 AngloGold Ashanti 合作的首次钻探计划的钻探结果 • 2025 年现场活动和 Kincora 管理费的概述(Nyngan 和 Nevertire) Cundumbul 项目: • 合作伙伴 Earth AI 首次钻探计划的钻探结果 • 2025 年现场活动概述 Bronze Fox 项目: • 合作伙伴 Orbminco Limited (OB1.ASX) 首次钻探计划的最新钻探结果显示近地表高品位和广泛的矿化系统 • 申请第二个(完整)采矿许可证 • 2025 年现场活动概述,包括初步地球物理和后续行动、高冲击浅层钻探(进一步资源扩展 + 新发现重点) Wongarbon 项目: • 开始 Fleet Space 多物理勘测 • 首次钻探计划
首字母缩略词: ACGIH:美国政府工业卫生学家会议 C:摄氏度,F:华氏度 CAA:清洁空气法案 CAS:化学文摘社 CSA:加拿大标准协会 CEPA:加拿大环境保护法案 CERCLA:综合环境反应、赔偿和责任法案 DOT:运输部 EHS:极其危险物质 EPCRA:紧急计划和社区知情权法案 IARC:国际癌症研究机构 IMO:国际海事组织 LD50:50% 致死剂量 LC50:50% 致死浓度 NIOSH:国家职业安全与健康研究所 NTP:国家职业安全与健康研究所 MSHA:矿山安全与健康管理局 OSHA:职业安全与健康管理局 RCRA:资源保护与回收法案 RTK:知情权 RQ:可报告数量 SARA:资源保护与回收法案 TSCA:有毒物质控制法案 TPQ:阈值规划数量 WHMIS:工作场所危险材料信息系统 wt.:重量
铜金属由于其低电阻率和对电子的高电阻性而高度偏爱微电子的相互作用。[1]微电子设备中最小特征的尺寸计划到2022年达到3 nm限制,[2]设定了越来越严格的需求,以使该技术沉积该设备制造的连续低电阻式CUFILMS。原子层沉积(ALD)是一种基于相互脉冲前体的领先的气相薄膜技术 - 是微电子行业的理想选择,因为它固有地提供了高度的相结合薄膜,而不是复杂的几何形状和高光谱比率结构,并且可以使用高含量比率结构,并且可以覆盖厚度较高。[3] Challenge是为了找到行业,有效和可靠的ALD
摘要:基于Zn的金属的激光粉末床融合(LPBF)具有产生定制的可生物降解植入物的突出优势。然而,在Zn激光熔化期间发生了大规模蒸发,因此调节激光能量输入和气体屏蔽条件以消除LPBF过程中蒸发烟雾的负面影响成为一个关键问题。在这项研究中,建立了两个数值模型,以模拟扫描激光与Zn金属之间的相互作用以及屏蔽气流与蒸发烟雾之间的相互作用。第一个模型通过将蒸发对能量,动量和质量的保护作用进行影响,预测了不同激光输入的蒸发率。以蒸发速率作为输入,第二个模型通过采取气体循环系统的效果,包括几何设计和流量速率,预测了在屏蔽气流的不同条件下蒸发烟雾的消除效果。在涉及足够激光输入和优化的屏蔽气流的情况下,在LPBF过程中,蒸发烟雾有效地从加工室中删除。此外,通过比较纯锌和钛合金的LPBF来讨论表面质量致密性的影响。已建立的数值分析不仅有助于找到基于Zn的金属LPBF的足够激光输入和优化的屏蔽气流,而且还有益于理解LPBF工艺蒸发的影响。
我们报道了一种通过原子层沉积 ALD 在长宽比超过 35:1 的非常窄的孔内共形生产薄的、完全连续且高导电性的铜膜的方法。纯铜薄膜由新型铜 I 脒基前体、铜 IN、N -二仲丁基乙脒和分子氢作为还原剂生长。该铜前体在汽化过程中为液态,因为其熔点 77°C 低于其汽化温度 90-120°C 。因此,前体蒸汽的传输非常可重复且可控。碳和氧杂质低于 1 原子%。每个循环的生长在 SiO 2 或 Si 3 N 4 表面上为 1.5-2 Å/循环,但在金属 Ru、Cu 和 Co 表面上仅为 0.1-0.5 Å/循环。在氧化物表面,铜原子形成孤立的铜晶体,经过更多沉积循环后合并为粗糙的多晶膜。在 Ru 和 Co 金属表面上,ALD Cu 密集成核,形成光滑且附着力强的薄膜,即使对于薄至 4 个原子层的薄膜,这些薄膜也是连续的。在 2 nm Ru 基底上沉积 4 nm Cu 时,薄层电阻低于 50 / ,这足以制作用于电镀 Cu 互连线的种子层。© 2006 电化学学会。DOI:10.1149/1.2338632 保留所有权利。