在等离子体处理中,功率输送与非线性负载的匹配是一项持续的挑战。微电子制造中使用的等离子体反应器越来越多地采用多频率和/或脉冲方式,从而产生非线性且在许多情况下非稳态的电气终端,这可能会使功率与等离子体的有效耦合变得复杂。对于脉冲电感耦合等离子体尤其如此,其中等离子体的阻抗在启动瞬态期间可能会发生显著变化,并经历 E – H(电容到电感)转换。在本文中,我们讨论了使用固定组件阻抗匹配网络对脉冲电感耦合等离子体(Ar/Cl 2 混合物,压力为数十毫托)进行功率匹配的动态计算研究的结果及其对等离子体特性的影响。在本次研究中,我们使用了设定点匹配,其中匹配网络的组件在脉冲周期的选定时间提供最佳阻抗匹配(相对于电源的特性阻抗)。在脉冲早期匹配阻抗使功率能够为 E 模式供电,从而强调电容耦合和等离子体电位的大偏移。这种早期功率耦合使等离子体密度能够更快地上升,而在脉冲后期的 H 模式中不匹配。早期匹配还会产生更多能量离子轰击表面。在脉冲后期匹配会降低 E 模式中耗散的功率,但代价是降低等离子体密度的增加速度。
摘要响应于对各种工业过程中对更有效传热技术的需求不断增长的需求,纳米流体的发展已成为一种有希望的解决方案。与固体相比,传统的传热液(例如矿物油,乙二醇和水)的热导电性相对较低,从而限制了热交换器的紧凑性和效率。纳米流体是通过在碱流体中悬浮超铁金属或非金属固体粉末而产生的,由于固体材料的较高导电性,其热性能增强。本文回顾了纳米流体的制备,导热率测量和影响因子,重点是导热率,作为改善热传递的主要驱动力。纳米流体的制备涉及一步或两步方法,而两步方法更常用于氧化物纳米颗粒(NPS),例如Al2O3,ZnO,MGO,MGO,TIO2和SIO2。该研究讨论了超声处理和磁力搅动等稳定技术,以确保纳米流体的均匀悬架和长期稳定性。使用短热线(SHW)和瞬态热线(THW)技术进行热导率测量,并考虑了非稳态的性质和潜在的误差源。这项研究强调了严格的实验设计和准确的数据分析的重要性,以解决热导率测量的复杂性和可变性,最终有助于纳米流体技术在有效传热溶液中的发展。关键字:纳米流体,热有限,纳米颗粒,纳米流体的稳定性1。引言不断增长的热流和快速收缩,导致选择了越来越多的有效传热技术。矿物油,乙二醇和水是许多工业过程中不断需要的传热液的例子,包括生产微电子产品,发电,化学反应以及加热和冷却。与大多数固体相比,这些常见流体的低热传递特性是热交换器高紧凑性和效率的关键障碍之一。增加工作培养基的热导电性的一种创造性方法是悬挂普通流体中的超铁金属或非金属固体粉末,因为大多数固体材料都比液体具有优越的导热性。如今,“纳米流体”一词在热传输领域非常明显。的热品质,包括粘度,特定热量,对流传热系数和临界热流,已成为几项研究的主题。