高频声

在低温温度下片上片上超高Q语音谐振器

长寿高频声子对于从光学机械到新兴量子系统的应用都是有价值的。对于科学和技术影响，我们寻求高性能振荡器，这些振荡器为芯片尺度整合提供了途径。共聚焦散装声波谐振器已显示出在低温温度下在结晶介质中支持长寿命的声子模式的巨大潜力。到目前为止，这些设备已经具有CM尺寸的宏观尺寸。但是，当我们将这些振荡器推向高频时，我们有机会从根本上减少足迹，作为经典和新兴的量子技术的基础。在本文中，我们介绍了新颖的设计原理和简单的微加工技术，以创建高性能的碎屑尺度共聚焦散装声波的声波，以各种晶体材料。We tailor the acoustic modes of such resonators to efficiently couple to light, permitting us to perform a non-invasive laser- basedphononspectroscopy.Usingthistechnique,wedemonstrateanacoustic Q -factor of 2.8 × 10 7 (6.5 × 10 6 ) for chip-scale resonators operating at 12.7 GHz (37.8 GHz) in crystalline z - 在低温温度下切开石英（x -Cut硅）。©2018作者。所有文章内容（除非另有说明，否则都将根据创意共享归因（cc by）许可（http://creativecommons.org/licenses/4.0/）获得许可。https://doi.org/10.1063/1.5026798