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图2 . 制备好的ZnO图案表征。a、b为制备好的图案化ZnO的SEM像,包括a中的蝴蝶结线和b中的校徽“HUST”;c为“HUST”图案的局部放大图,(a)中插图为ZnO产品的最小线宽;d产品的SIMS表征结果;e产品的AFM表征结果;f所得ZnO的WDS像,其中锌元素的分布与FsLDW产品一致。
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