机构名称：
¥ 1.0
摘要。我们研究了基于旋转对称和镜像对称的三平面校准方法，用于在平面支撑机制引起变形的情况下对圆形平面进行绝对干涉平面度测量，这对于大型重型平面来说是一个重大问题。我们表明，当平面具有相同的变形时，可以通过比较基于镜像对称和旋转对称的平面测试解决方案来确定安装引起的变形的镜像对称分量。我们还描述了针对具有相同安装引起的变形的三个平面的三平面问题的新解决方案。在新的三平面解决方案中，平面变形与三个平面的波前平面度误差一起计算。推导出三平面测试解决方案的不确定度公式。© 2007 光学仪器工程师协会。 � DOI：10.1117/1.2784531 �
三平面测试，包括安装引起的变形
主要关键词
相关文件推荐
