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硅变身：激光纳米制造的突破
一种新方法利用空间光调制和激光脉冲实现硅内部的精确纳米制造，从而创造出可用于电子和光子学的先进纳米结构。...
来源:SciTechDaily研究人员开发出了一种硅内纳米加工的新技术，可以创建特征尺寸小至 100 纳米的埋藏纳米结构。通过利用空间调制的激光脉冲，他们在创建纳米光子元件方面实现了前所未有的控制和精度，为电子和光子学的发展提供了巨大的潜力。（艺术家的概念。）来源：SciTechDaily.com
一种新方法利用空间光调制和激光脉冲实现硅内精确的纳米加工，创建可用于电子和光子学的先进纳米结构。
一种新方法利用空间光调制和激光脉冲实现硅内精确的纳米加工，创建可用于电子和光子学的先进纳米结构。硅是现代电子、光伏和光子学的基石，由于现有光刻技术带来的挑战，传统上仅限于表面级纳米加工。现有的方法要么无法在不造成改变的情况下穿透晶圆表面，要么受限于硅内激光光刻的微米级分辨率。
本着理查德·费曼的名言“底部有足够的空间”的精神，这一突破与探索和操纵纳米级物质的愿景相一致。 Bilkent 团队开发的创新技术超越了目前的限制，能够以前所未有的控制方式控制制造深埋在硅晶圆内的纳米结构。
纳米级纳米级制造的突破
用于纳米光刻的先进激光技术
通过激光偏振增强纳米制造
未来的影响和应用
超材料纳米级制造创新的总结
参考文献：“硅内部激光纳米制造与空间光束调制和各向异性播种” 2024 年 7 月 16 日，《自然通讯》。DOI：10.1038/s41467-024-49303-z