电子束方法可实现精确的纳米级雕刻和铜结构的建造

在最小的尺度上创建复杂的结构一直是工程师的挑战。但是,佐治亚理工学院的新研究表明,已经在成像和制造中广泛使用的电子束也可以用作超专业工具,以用铜等材料等材料来雕刻和建造结构。

来源:英国物理学家网首页
信用:高级功能材料(2025)。 doi:10.1002/adfm.202514610
高级功能材料

在最小的尺度上创建复杂的结构一直是工程师的挑战。但是,佐治亚理工学院的新研究表明,已经在成像和制造中广泛使用的电子束也可以用作超专业工具,以用铜等材料等材料来雕刻和建造结构。

乔治·W·伍德拉夫(George W. Woodruff)机械工程学院的安德烈·费多罗夫(Andrei Fedorov)教授的研究小组发现了一种技术,该技术完全取决于周围的化学,在液体环境中使用聚焦的电子束去除或沉积铜。

通过调整溶液中的氨含量,研究人员能够控制梁是否蚀刻了材料或沉积材料,有效地允许在原子水平上进行3D雕刻。

他们的发现发表在高级功能材料中。

双向街道

电子束方法通常用于去除材料或添加材料,但并非两者兼而有之。在这项研究中,研究人员开发了一个可以使用同一设置来依次或偶尔进行的过程。

在实验中,他们将电子束聚焦于浸入水膜溶液中的铜上。氨浓度低,横梁蚀刻了狭窄的沟槽,仅50纳米,比一张纸薄了约2,000倍。

电子束

随着时间的流逝,在蚀刻过程中去除的铜原子开始重新沉积在沟渠内,形成了微小的垂直结构,例如山谷内部的峰。通过控制击中材料的电子暴露时间和电子数量,可以创建较小或较大的图案和结构。

氨作为开关

这种精确控制的钥匙在于氨液在液体溶液中的作用。

精确控制 铜原子 化学变化

大型影响的小工具

原子级

“这为我们提供了一种灵活的纳米级制造工具,”艾哈迈德说。